フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

【加工事例】エッチング加工

特殊薬品を使用し素材を溶かしていく加工方法！デザインのご要望に幅広く対…

当社が手掛けるチタンエッチングは、ステンレスや他の金属と違い、倍以上の 時間を掛け少しずつエッチングする加工です。 時間を掛け処理する必要があるため、ロス率が高くなるリスクがありますが、 厳重に板厚や薬液を管理し極...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オーファ

技術資料チタン加工入門【難削材加工のポイントや加工事例を掲載】

難削材であるチタン・チタン合金の加工のポイントや、実例を掲載した技術資…

【その他のチタン加工実例（一部）】 ■多角NCロール成形加工 ■エッチング加工 ■ボルト切削加工（NC旋盤） ■カラーチタン（陽極酸化） ■カラーチタン（陽極酸化）-グラデーションカラー ■3Dカラーレーザーマーカー ■FG処理（高硬度・耐食性UP・耐摩耗性...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オーファ