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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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PR【超高圧ジェットでメタル&レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…
【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし! ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム (オプション) 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能! 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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塩化第2鉄溶液などを用いたウエットエッチングマシンです。 汎用コンベ…
ローラコンベア型の汎用エッチングマシンから シールラベル用抜刃を製作する特殊エッチングマシン、 グラビア印刷用シリンダロールのエッチング製版装置、 透明導電体のエッチングなど様々な処理方式・基材に 対応したエッチングマ...
メーカー・取り扱い企業: 進和工業株式会社 本社工場
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枚葉式 帯電防止洗浄装置 フィルム洗浄装置
れたコンパクト且つ安価な洗浄機です。 ☆ 標準タイプ(SSW−600B)の他、ブラシ洗浄機能や処理能力向上タイプなど顧客要望に応えるオーダーメイド仕様も製作可能です。 ☆ PASTER(R)エッチング兼用装置も製作可能です。...
メーカー・取り扱い企業: 進和工業株式会社 本社工場
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化学プラント関連製品 「スーパーフローライニング/熱交換器など」
高稼働率を発揮。優れた耐薬品性、非粘着性、純粋性を長年の実績から立証 …
FAコイル式熱交換器】 ○熱交換器の中で最も大型の処理槽容器に対応 ○酸洗などの大型処理槽に多く使用 【PFAハニカム式熱交換器】 ○熱交換器の自重により槽内に吊るして使用。メッキ、エッチングなどの金属表面処理槽に最も多く使用 【PFAシェル&チューブ式熱交換器】 ○熱交換器本体がコンパクトかつ軽量に設計出来るため、主に高純度薬液のインライン用として使用 ○熱交換が必要な...
メーカー・取り扱い企業: 関西理工株式会社
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組み合わせが選べる自由設計(オーダーメード)のエレベーターです。
【特長】 ○ステンレス製 ○エッチング仕上げ ○防犯窓大型 ○幕板付き ○鋼板塗装仕上げ ○両出口仕様 ○保護マット、床マット装着 ○床タイル及び車椅子用出入口床 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロ...
メーカー・取り扱い企業: 日東エレベータ株式会社
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ロータリーダイシリンダー、ロータリーダイユニット<テスト受付中>
安定した切れ味と長寿命化を実現。高剛性ダイユニットは刃先のクリ…
株式会社三條機械製作所