フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

真鍮のφ20±0.05のカール曲げ！無数の穴はエッチング加工！

協力工場でエッチング加工にも対応！当社が設計から手掛ける簡易金型で高精…

ます。 当社では通常、レーザーでブランク加工をすることがほとんどですが、この製品は小さい穴が 無数に空いており、レーザー加工では、時間がかかってしまうことや、反りなどの懸念があった ため、エッチングでブランクを加工する選択をしました。 このようなカール曲げ加工はスプリングバックが大きく、精度の確保が難しいですが、 当社では簡易型でカール曲げを行い、径の精度「±0.05」を満足しています...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社西野精器製作所