フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

粉体に表面処理！減圧プラズマ粉体表面改質装置

プラズマ処理で粉体に親水性を付与！粉体の均一な混練・混合、液中への分散…

分散剤を使用せずとも分散効果・親水性付与。 ●PTFE粒子　⇒　撥水性が高いPTFE粒子にも親水性を付与。 ●活性炭粒子　⇒　粗面化処理による表面積拡大で吸着能力アップ。 ●Ni粒子　⇒　エッチング処理で表面形状変化。 ※可能性を秘めた新たな技術です。詳しくはPDFをダウンロードもしくは、お問い合わせ下さい。 【展示会に出展します】 展示会名：粉体工業展2017 会期：20...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

【粉体工業展 出展】粉体に表面処理！減圧プラズマ粉体表面改質装置

プラズマ処理で粉体に親水性を付与！粉体の均一な混練・混合、液中への分散…

分散剤を使用せずとも分散効果・親水性付与。 ●PTFE粒子　⇒　撥水性が高いPTFE粒子にも親水性を付与。 ●活性炭粒子　⇒　粗面化処理による表面積拡大で吸着能力アップ。 ●Ni粒子　⇒　エッチング処理で表面形状変化。 ※可能性を秘めた新たな技術です。詳しくはPDFをダウンロードもしくは、お問い合わせ下さい。 【展示会に出展します】 展示会名：粉体工業展2017 会期：20...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

【粉体に付加価値！】真空プラズマ粉体攪拌処理装置

微粒子を均一にプラズマ表面改質し、粉体へ様々な機能を付加します！

分散剤を使用せずとも分散効果・親水性付与。 ●PTFE粒子　⇒　撥水性が高いPTFE粒子にも親水性を付与。 ●活性炭粒子　⇒　粗面化処理による表面積拡大で吸着能力アップ。 ●Ni粒子　⇒　エッチング処理で表面形状変化。 ※可能性を秘めた新たな技術です。一度カタログをご覧の上、お問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研