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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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PR薄手!柔軟!だから多種多様な形状で使用可能な面状発熱体ヒーターです!
ただ発熱するだけじゃない! 【1】薄くてやわらかいから小型・軽量化に貢献 【2】昇温レスポンスが早いから大幅性能アップ 【3】自由な形状で設計できるから用途が広がる シンワの面状発熱体は、金属箔に電気を流して発熱させる薄いシート状の発熱体です。非常に薄くてやわらかい為、曲面や狭いスペースへの加熱に適しています。さらに回路をエッチングで形成する為、設計者の意図した発熱分布を得ることが...
メーカー・取り扱い企業: シンワ測定株式会社 FE部
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深さ最小0.1μ単位の加工精度。溝加工、色入れ、蒸着パターンなど、 各…
ウェットエッチングによりガラスに微細な溝加工を行い、高精度のパターンを形成します。 パッド印刷の原版となるガラス凹版や、レチクル、最近ではマイクロ流路や光学センサー部品等、様々な用途でご採用いただいております。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大山光学 狭山ヶ丘工場
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フォトエッチング技術などを応用した精密ガラス加工製品
株式会社エクアではフォトエッチング技術を利用して製作されるガラスエッチング加工品を御提供しております。 マイクロ流路や各種スペーサー用途など高精度な形状を得ることができます。 又、クロムなどのパターン付きガラスの製作も可能で...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エクア
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ガラスフィルターを使わず気泡を発生させる「ガス吸収瓶」!全て分解可能で…
泡の調節幅が広くとれます。 W77-6型 ・気泡の発生をボトル本体底面側と中管とで行います。 5型同様に摺り加工を施しておりますので気泡の調整幅がとれます。 W77-7型 ・中管先端にエッチングを施し比較的大き目の気泡を発生します。 シリーズの中で圧損が低い特徴を有します。...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社桐山製作所
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高圧ジェットで高速レジスト剥離!半導体製造用リフトオフ装置
【超高圧ジェットでメタル&レジスト除去】ASAP専用ノズルで、…
株式会社エイ・エス・エイ・ピイ -
ロータリーダイシリンダー、ロータリーダイユニット<テスト受付中>
安定した切れ味と長寿命化を実現。高剛性ダイユニットは刃先のクリ…
株式会社三條機械製作所