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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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PR薄手!柔軟!だから多種多様な形状で使用可能な面状発熱体ヒーターです!
ただ発熱するだけじゃない! 【1】薄くてやわらかいから小型・軽量化に貢献 【2】昇温レスポンスが早いから大幅性能アップ 【3】自由な形状で設計できるから用途が広がる シンワの面状発熱体は、金属箔に電気を流して発熱させる薄いシート状の発熱体です。非常に薄くてやわらかい為、曲面や狭いスペースへの加熱に適しています。さらに回路をエッチングで形成する為、設計者の意図した発熱分布を得ることが...
メーカー・取り扱い企業: シンワ測定株式会社 FE部
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工法転換で1/10の低コスト化
[ 従来技術の課題 ] 微細加工のため、従来エッチング加工で対応しており、高コストであった。また、精度のバラツキも大きかった。 [ JKBによる解決実績 ] 1円硬貨の1/6の範囲内に121個の穴を、穴ピッチ公差3μm以下で高精度に順送プレ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社JKB
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金属メッシュパンチングメタルにできない微細穴や特殊穴加工が可能です!
、性能の多様化・向上化が可能です。 ステンレスやニッケル等の極薄板(t0.03~3mm)に、無数の微細穴 (φ0.010~1mm)を均質にあけた金属薄板です。 パンチング、プレス加工、エッチング、エレクトロフォーミング(電鋳)・ 電子ビーム(EBP)・レーザー等の加工方法により、用途に合わせた 製作(穴径・穴配置・板厚・形状など)が可能です。 【特長】 ■微細穴や特殊穴加工...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社Ring
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高圧ジェットで高速レジスト剥離!半導体製造用リフトオフ装置
【超高圧ジェットでメタル&レジスト除去】ASAP専用ノズルで、…
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株式会社三條機械製作所