高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

アプリケーション例『エッチング,コーティング,洗浄工程』

太陽電池製造プロセス向けの耐薬品バルブ

太陽電池の製造にもウェットプロセスが組み込まれており,ここでは流体の純度が保たれること以上に,コンポーネントの耐薬品性が重視されます。 GEMÜ社はPFA,PVDF,PPコンポーネントを幅広く提供しております。...※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

アプリケーション例『 化学薬品の供給』

化学薬品のハンドリングに最適なバルブをご提案

ハイテク分野の多くでは,プロセス流体の純度が製品の品質と生産量を決定します。 GEMÜ製品は生産設備の中で,洗浄,コーティング,エッチング,充填プロセスの流体制御を担っています。 化学薬品の供給分野におけるGEMÜ社の強みは,あらゆるアプリケーションに対応する豊富なラインナップと,高耐久で流体の純度を低下させないことです。 ...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社