フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

株式会社富士精工　事業紹介

産業分野をはじめ、世の中でお役に立つよう努力してまいります。

工 →ステンレス・チタン・銅・アルミ・金型材・ニッケル・ハステロイ・ 　SUH４４６・インコネル ○精密切削加工・レーザー加工・鏡面加工・冷間圧造加工 ○精密プレス加工・機能性溶射加工・エッチング加工 ○各種熱処理加工・各種表面処理加工・微細加工と小径深穴加工・ 　石英-水晶-ガラス-セラミック ○テフロン熔着・テフロン曲げ加工 [素材分野] ○各種新素材・鉄-非鉄製品・セラミ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社富士精工