フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

レンタルラボ・受託実験（巴商会　横浜研究所）

【1日1時間～貸出可能】毒性ガス･可燃性ガスを使った実験が可能です！ …

各種ガス分析・金属分析・マイクロスコープ写真・重量測定など、分析による実験のお手伝いもいたします。 ■実施例 • SiH4・有機金属ソースなどによる成膜実験 • F2,HClなどによるエッチング実験 • HBr,H2S,NH3による腐食実験 ■おもな登録 • 特定高圧ガス消費設備 • 第二種高圧ガス貯蔵設備 • 第二種高圧ガス製造設備 • 計量事業所 • 作業環境測定...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社巴商会 管理部署：企画営業部