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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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PR【超高圧ジェットでメタル&レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…
【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし! ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム (オプション) 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能! 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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原水槽から反応槽へF系排水を移送する際の課題とその解決策についてご紹介…
半導体工場や液晶ガラス加工工場で行われるエッチングプロセスでは、 排水処理が重要な工程の一つとなっています。 とくに原水槽から反応槽へF系排水を移送する際には、いくつか特有の 課題が存在します。 今回は、この工程における課題とそ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社みつわポンプ製作所
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水の使用のみで金属塩と遊離酸を分離します!動画掲載中!
イターは金属を含んだ酸溶液を特殊なイオン交換樹脂で金属塩と遊離酸に分離して、金属塩を排出する装置です。遊離酸の回収には薬品や熱などのエネルギーは必要なく、水を使用するだけなので、大変経済的です。エッチングなど処理液の組成や濃度を一定に保ちます。 *酸処理液の濃度管理の自動化。 *酸処理工程の安定化。 *酸処理液の長寿命化。 *酸消費量の削減。 *廃酸処分費の削減。 *排水処理への負荷の...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社三進製作所
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東栄アクアテック株式会社取扱品目について、営業のご案内
定期点検、ろ材交換、消耗品・機器(ポンプ・他)、NewF2フィルターろ過脱水機(発生源に設置、水や液の循環再利用(節水・リュース)有価物を回収するコンパクトなろ過脱水機、各種研磨水、金属精錬液、エッチング液の循環ろ過機に使用)、排水処理付帯装置などを取り扱っております。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...
メーカー・取り扱い企業: 東栄アクアテック株式会社
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従来の焙焼法に替わる新しい湿式の塩酸回収プロセスのご紹介です
【適応例】 ■鉄鋼酸洗廃液の再生(ARP) ■エッチング廃液の処理 ■プロセスを応用した、フッ化鉄からのフッ酸回収も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 第一エンジニアリング株式会社
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ロータリーダイシリンダー、ロータリーダイユニット<テスト受付中>
安定した切れ味と長寿命化を実現。高剛性ダイユニットは刃先のクリ…
株式会社三條機械製作所