フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

ケミカルポンプ『SFV型/TFV型/RE型』

優れた耐久性！幅広い用途に使用可能なマルハチのケミカルポンプ

マルハチのケミカルポンプは、「SFV型自吸式」「TFV型非自吸式」 「RE型槽内外堅型」をご用意しております。 優れた耐久性をもっているため、廃液・廃水処理、化学工業、金属工業、 エッチング装置、排ガス洗浄装置等あらゆる場所にご利用いただけます。 【特長】 ＜SFV型＞ ■耐蝕性、耐熱性に優れる ■シールは自動遠心開閉装置のため、運転中は無接触状態 ■停止に向かって回...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社丸八ポンプ製作所