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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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PR【超高圧ジェットでメタル&レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…
【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし! ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム (オプション) 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能! 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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『フォトエッチング+拡散接合』で創る超微細金属メッシュフィルタ
『エッチング+拡散接合』で創る3Dマイクロ多孔金属フィルタ
しています。金属製のメリットは、洗浄性(繰り返し使用可能)と耐久性にあり、環境への配慮からという点で需要が増加しています。 金属製フィルタの製法は電鋳、プレス加工など様々ありますが、UPTは『エッチング+拡散接合』でこれを実現します。UPTが得意とするのは、マイクロレベルの多孔を様々な形状で正確に作り上げること。例えば100μmの穴の空いた50μm厚の金属メッシュを1000枚重ね三次元の形状を...
メーカー・取り扱い企業: ユナイテッド・プレシジョン・テクノロジーズ株式会社 本社
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面状発熱体 『ポリイミドヒーター』
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株式会社三條機械製作所