フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

マイクロレンズアレイ『ウェットエッチング』【高精度・特注対応可】

advanced microoptic systems社製マイクロレン…

aμsのフォトリソグラフィ技術（化学エッチング＝等方性エッチング）は、様々な形状の光学部品を生み出せるだけでなく、レンズ品質、正確なレンズの位置決め精度、レンズの密集度合やさらには多様なパッケージタイプでのご提供などを可能としています。また...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ルミネックス

拡散板・ディフューザー『Engineered Diffuser』

入射光の強度プロファイルを制御しつつ均質化

【製品ラインアップ】 ■Polymer on glass, POG, (ガラス基板上複製ポリマー) ■Etched hard materials (硬質材料製エッチング加工：溶融シリカ) ■Engineered Diffuser Films (フィルムタイプディフューザー) ■HiLAM Diffusers ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ルミネックス