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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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PR【超高圧ジェットでメタル&レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…
【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし! ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム (オプション) 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能! 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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フィルター『エッチング ラインストレーナー PETシリーズ』
再使用可能!精密エッチング加工を使用したオールステンレスストレーナー
「エッチング ラインストレーナー PETシリーズ」は、既存の配管に一切手を加えず装着可能、精密エッチング加工を使用したオールステンレス ストレーナーです。 半導体等の電子部品製造分野で用いられるフォト...
メーカー・取り扱い企業: エイチアールディー株式会社 本社・大阪第一支店・大阪第二支店・名古屋支店・豊田支店・東京支店・HRD-THAI
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金属金網を使用したオールステンレスろ過フィルター等、多数掲載!
総合カタログ内では、金属金網を使用したオールステンレスろ過フィルターの「サスクリーン カートリッジ」や、精密エッチング加工を使用したオールステンレス ストレーナーの「エッチング ラインストレーナー」等、多数掲載しています。 【掲載製品(一部)】 ■オールステンレスろ過フィルター ■オールステンレス ス...
メーカー・取り扱い企業: エイチアールディー株式会社 本社・大阪第一支店・大阪第二支店・名古屋支店・豊田支店・東京支店・HRD-THAI
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再使用可能!精密エッチング加工を使用したオールステンレスろ過フィルター
「エッチング カートリッジ PETシリーズ」は、アルカリ及び酸系の薬品に対応できる精密エッチング加工を使用したオールステンレスろ過フィルターです。 半導体等の電子部品製造分野で用いられるフォトエッチン...
メーカー・取り扱い企業: エイチアールディー株式会社 本社・大阪第一支店・大阪第二支店・名古屋支店・豊田支店・東京支店・HRD-THAI
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