高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

フッ素樹脂継手『60シリーズ』

フレアーシール方式を採用！液置換特性が大幅アップします

『60シリーズ』は、CMPスラリーの凝集対策や、フォトレジストの発泡・ ゲル対策、エッチング・剥離液などの涙漏れ対策に適したフッ素樹脂 継手です。 ボディ、ナット形状のどちらもが独特の構造（U.S. PAT.）になっており、 クリーンで安全なことはもちろん、液溜り、涙漏れが無く、増し締めが 要らないというご要望に近い性能を備えております。 【特長】 ■涙漏れが無い ■液溜り...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フロウエル