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300mmウエハでも全視野ワンショット1秒以下で検査可能。
【装置概要】 300mmウエハでも全視野ワンショット1秒以下で検査可能で、 検査時間が短いため、全自動化検査ラインにも、採用されております。 小視野の光学系からラインナップしており、オプション光源に 赤外線を用いることにより内部のボイド検査にも応用できます。 近年ウエハーの薄型化が進んでいますが、BG 加工の不均一性や 研磨痕や応力から生じたチップクラックなどウエハー全視野を 高速で...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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SiC、サファイア、GaNウエハなどの化合物系ウエハ外観検査装置です。…
内部マイクロパイプや、脈離、表面傷、異物、研磨痕などの検査に有効です。検査に、スーパーマクロ、微分干渉、暗視野、透過の4つの光学系を持ち、全ての光学系にオートフォーカスを持ち、自動ステージにより同じ座標系での検査が可能です。オプションで、同じ座標系に、AFMやウエハ厚さ測定を載せる事も可能です。 【装置アプリケーション】 ■ウエハー内部のマイクロパイプ ■ウエハー内部の脈離 ■表面傷検査、...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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