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  • クラスター装置『Morpher』 製品画像

    クラスター装置『Morpher』

    デバイス量産へ、優れたプロセス品質、信頼性、高スループットを提供！

    O2、ZrO2、メタル 〇バッチ1％未満の1σ不均一性（Al2O3、WIW、WTW、B2B、49 pts、5mm EE） ＜基板ローディング＞ 〇真空クラスタツールによる完全自動ロード 〇カセットからバッチへのローディング 〇オプションSMIFステーション ＜主なソフトウェア機能＞ 〇レシピエディター：プロセスの実行中にレシピの作成と変更が可能 〇1つの通信プロトコル（Etherc...

    メーカー・取り扱い企業： PICOSUN JAPAN株式会社

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