カーボンコーター　SC-701CT

個人差のないカーボン蒸着が可能に！ EPMA・分析SEMの前処理用とし…

QUICK CARBON COATER SC-701CTは、EPMAや分析SEMの試料作製の手間を省いたカーボン蒸着専用コーターです。誰でも簡単・手軽にカーボン蒸着できます。 個人差のない蒸着を実現し、試料に対する熱ダメージを低減します。 【特長】 〇フラッシュ式蒸着法を採用　→　個人差のないカーボン蒸着を実現 〇蒸着作業時毎にカーボン棒を削る手間を省く 〇ロータリーポンプのみによる...

メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社

水素フリーDLCコーティング装置（高密度スパッタＡＤＭＳ装置）

　独自技術で従来に無い水素フリーDLC膜を形成（水素含有量１％以下）優…

従来に無い水素フリーDLC膜（膜中水素含有量１％以下）を量産装置で実現 成膜プロセスに水素を使用しない高密度プラズマスパッタ技術を採用、新方式PVD装置（ADMS＝アーク放電式マグネトロンスパッタリング装置） 水素フリーの緻密なDLC膜は従来の水素含有DLC膜に比べＭｏ添加の潤滑油中の摺動特性を１／１５以下に低減（１⇒０．０６） 最新成膜プロセスで導電性カーボン薄膜の形成にも対応。バイオ用途...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

半導体フォーミング金型用セルテスDLCコーティング

PVDとプラズマCVDのハイブリッドプロセスによるDLCコーティングで…

半導体フォーミング金型用セルテスDLCコーティングは、PVDとプラズマCVDのハイブリッドプロセスによる新しいDLC（ダイヤモンドライクカーボン）コーティングです。複合多層膜の採用により、従来のDLCと比較して密着力にすぐれ、厚膜（～ 5μm）が可能なため、抜群の耐久性を示します。また超硬合金だけでなく、工具鋼上でも下地強化層の採用により高い面圧に対応できます。DLC コーティングは表面が非常に平...

メーカー・取り扱い企業： ナノコート・ティーエス株式会社 石川事業所

ロールtoロール生産ラインにCMWH超広幅ウェブクリーナー装置

ロールtoロール生産ラインで超広幅装置をご検討のお客様へ

光学系フィルム（PET、TAC、PVA、PVC、PMMA等）の2350mm~3000mmの広幅ウェブでも安定した除塵を実現いたします。広幅ラインで懸念されやすいカーボン芯を使用することにより低慣性、高剛性、軽量化を実現。メンテナンス性等全てを考慮した広幅装置をご提案させていただきます。 ＜コンバーティングの技術領域＞ コーティング技術（ウェットコーティング、ドライコーティング〔蒸着、スパッ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤンゴージャパン

ロールtoロール生産ラインにCMW広幅ウェブクリーナー装置

ロールtoロール生産ラインで広幅装置をご検討のお客様へ

光学系フィルム（PET、TAC、PVA、PVC、PMMA等）の1600mm~2350mmの広幅ウェブでも安定した除塵を実現いたします。広幅ラインで懸念されやすいカーボン芯を使用することにより低慣性、高剛性、軽量化を実現。メンテナンス性等全てを考慮した広幅装置をご提案させていただきます。 ＜コンバーティングの技術領域＞ コーティング技術（ウェットコーティング、ドライコーティング〔蒸着、スパッ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤンゴージャパン

全自動RTP（高速熱処理）装置

Premtek　RTP-1200A（SEC）（SEF）

4～8インチに対応した、シングルチャンバ全自動RTP装置です。搬送方式はオープンカセット・SMIFどちらかの選択で、カセットステーションは2台になります。 ウェハをサセプタに格納してプロセス処理をするため、反り、厚さ、透過率等のウェハの特性に関わらず、抜群のRc・温度均一性を実現します。 熱源はハロゲンランプで、上下両面配列です。 温度測定範囲は20℃～1250℃となります。熱電対とパイロメータが...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）