コリオリ式マスフローコントローラ/メータ　Quantimシリーズ

PRコリオリ式微小流量の測定と制御の業界標準！幅広い流量レンジで液体・ガス…

『Quantimシリーズ』は、微小流量のガス/流体測定や制御において、高い 精度とゼロ安定性を実現するコリオリ式マスフローコントローラ/メータです。 特許取得済みのコリオリ式センサは、流体のタイプやプロセス変動に関係なく、 低流量の測定が可能。 その結果、条件が変化する場合でも、精度、安定性、繰り返し性、再現性の 高いマスフロー測定と制御を実現し、卓越したパフォーマンスを提供しま...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社

水銀吸着剤

PRガス状水銀を高効率で吸着・除去！吸着塔の設計・製作・据付工事も対応いた…

当社では、排ガス中のガス状水銀を高効率で吸着・除去する水銀吸着剤を 製作しており、従来の硫化鉛の他に硫化銅を吸着成分として用いた吸着剤を 実用化しています。 吸着剤厚さ=1500mm、塔内ガス流速=0.2m/s程度の場合、95%～98%程度の 除去率を期待することが可能。 また、活性炭と異なり、ガス中の水分で除去率が低下することがなく、 二酸化硫黄（SO2）ガス存在下でも、数年...

メーカー・取り扱い企業： 住友金属鉱山エンジニアリング株式会社

CKD 高真空用エアオペレイトバルブ AVB

【太陽電池、ＦＰＤ、半導体製造工程に】長寿命、高耐久性を実現。高い信頼…

向の任意の位置に操作ポートを選択可能。 4面すべてに動作位置検出用の超小形スイッチの搭載可能。 【長寿命・低発塵】（パート3シリーズ） バルジ一体成形法により、流路が流線形で表面が滑らかでガス溜りなし。 長寿命成形べローズ。 SUSボディタイプ。...

メーカー・取り扱い企業： ＣＫＤ株式会社

プロセスガス用レギュレータ「PGMシリーズ」

業界最高クラスのシール性能・ヒステリシス・繰り返し再現性を誇るCKDの…

供給ガスの高精度な圧力/流量調整で安定プロセスを実現します。 【高シール性】 プロセス安定化に貢献 ● 弁座部の最適設計と超精密加工 ● 弁閉動作時の2次側への漏れ（出流れ）を極限まで抑制 ...

メーカー・取り扱い企業： ＣＫＤ株式会社

エアオペレイトバルブ「AGDシリーズ」

メタルダイアフラムを採用したプロセスガス用バルブです 3方弁、2連3…

【スタンダードタイプ】 耐久性：100万回（実績値400万回） 集積化ガス供給システムに対応（1.5inch、1.125inch） 【内部シールの性能アップ】 最適なシール構造と面粗度の向上によるパーティクルの発生を削減。...

メーカー・取り扱い企業： ＣＫＤ株式会社