冷熱ブライン循環装置『ブラインチラー』【精密な温度制御！】

PR循環ポンプ１台で冷却加熱ブラインを供給！ブライン供給配管の切替作業不要…

ブラインチラーは、「試験装置・温度制御用」「半導体・完成テスト用」を ご用意した冷熱ブライン循環装置です。循環ポンプ１台で-100℃～+100℃ のブラインを供給します。ブライン供給配管の切替作業は不要です。 【仕様】 ■冷凍方式：混合冷媒・マルチカスケード方式 ■加熱方式：電気ヒーター・ホットガス加熱方式 ■循環ポンプ・ブラインタンク内蔵 　◎循環量：10～20L/min　◎揚程：10～15m...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マック

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

エレクトロダイナミック方式ダストモニター『VIEWシリーズ』

プローブへのダスト付着の影響を受けにくい高分解能・高安定なダストモニタ

様々なプロセスの煤じん濃度測定に活用可能な「VIEW370」をはじめ、 危険エリアにての測定ができる「VIEW Ex800」などをラインアップ。 ダストモニター最大級の機能を有しながらも、高速データ処理を実現しました。 【特長】 ■プローブへの付着や汚れにほとんど影響されない ■超高感度0.01～1000mg/m3 ■PTFE被覆やFRP被覆が製作可能（VIEW370・370P...

メーカー・取り扱い企業： 関西オートメイション株式会社

バックスキャッタ方式ダストモニター『QAL360シリーズ』

排ガス濃度高精度連続測定やバグフィルター性能監視でご利用ください！ …

『QAL360シリーズ』は、後方散乱方式の採用で簡易な取付と高い メンテナンス性を実現したバックスキャッタ方式ダストモニターです。 質量濃度計として使用できる「QAL360Std」をはじめ、最大16台の センサを接続可能な「QAL360PRO」などをラインアップ。 【特長】 ■後方散乱方式の採用で、利便性の高い片側取付を実現 ■1～15mの大型設備のばいじん濃度測定に好適 ■...

メーカー・取り扱い企業： 関西オートメイション株式会社

エレクトロダイナミック方式ダストモニター『VIEWシリーズ』

瞬時の濃度変化も見逃さない！超低濃度測定・高速応答とフリーメンテナンス…

『VIEWシリーズ』は、一般的な摩擦電荷方式（トリボ式）や従来の 光学的な検出方法と比較して、プローブへのダスト付着の影響を 受けにくい高分解能・高安定なダストモニターです。 様々なプロセスの煤じん濃度測定に活用可能な「VIEW370」をはじめ、 危険エリアにての測定ができる「VIEW Ex800」などをラインアップ。 ダストモニター最大級の機能を有しながらも、高速データ処理を実...

メーカー・取り扱い企業： 関西オートメイション株式会社