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PR高価なHeを希釈して使用したいユーザー様におすすめ!従来最高級機種の廉…
高濃度He計『US-IIH』は検出器に高電圧用超音波素子を使用したガス濃度計です。 混合ガス中の音速、温度を測定して当社独自の演算を行い、濃度表示、 出力をします。従来1機種のみでしか測定できなかったHeガス50~ 100%を廉価版で測定可能にしました。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■最高級機種US-IIT-SHの廉価版 ■超音波式のため...
メーカー・取り扱い企業: 第一熱研株式会社
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新型チルドタワー、常時チラー運転より約54%の年間電力費ダウン
PR生産プロセス、データセンター空調、DLCサーバーの冷却水用に 現行機よ…
新型の機種は、「チルドタワー CTSーA075M」です。新型のカタログ請求はお問い合わせからご請求をお願いします。掲載のカタログは現行機種です。新型チルドタワーはチラーとドライクーラーを一体化させた構造で、春夏秋冬、朝昼夜の外気温度条件に適したハイブリッド運転を行います。必要な冷水温度(10℃~30℃)を設定すれば、省電力で安定した冷水を自動供給します。また、新型チルドタワーは、新冷凍サイクルでC...
メーカー・取り扱い企業: 桑名金属工業株式会社
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動的モンテカルロシミュレーションソフトウェア(SASAMAL)
イオン注入、あるいはスパッタリング現象そのものに関する計算を行うことが…
『動的モンテカルロシミュレーションソフトウェア(SASAMAL)』は、 2体衝突近似に基づくモンテカルロ法によるシミュレーションコードです。 アモルファスターゲットに高エネルギーのイオンが入射した際の スパッタリング率、スパッタリング原子の放出角度分布・エネルギー分布、 入射粒子の後方散乱する割合・角度分布・エネルギー分布、イオンの ターゲットへの侵入深さ(Depth Profile...
メーカー・取り扱い企業: ペガサスソフトウェア株式会社
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圧縮性と粘性を考慮した流れの計算が可能!ガス成分の種類ごとに密度と流量…
『中性粒子連続体モジュール(NMEM)』は、複数種の原子・分子 (電荷を持たない粒子)からなる混合気体の流れ場を計算します。 中性粒子種各成分の拡散を考慮した流体の基礎方程式を解くことにより、 各成分の流量と密度を計算。 この基礎方程式は気体を連続体とみなしたもののため、Kn(クヌーセン数; 流れの希薄度を評価する無次元数Kn=平均自由行程長/流れの代表長さ)が およそKn<0...
メーカー・取り扱い企業: ペガサスソフトウェア株式会社
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初期形状はトレンチ、ホールで与えることが可能!基板、堆積膜の経時変化を…
『表面形状・シミュレーション・モジュール(FPSM3D)』は、 粒子モンテカルロ法により、基板表面での様々な反応を考慮し、 基板、堆積膜の経時変化を計算するモジュールです。 セル法特有のシャープな境界面は用いず、固体層占有率による勾配から 入射角を決定し、入射角依存の鏡面反射確率、反応確率に適用。 PVD、プラズマCVD、そしてエッチングなどどのような反応にも対応可能です。 ...
メーカー・取り扱い企業: ペガサスソフトウェア株式会社
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PVD、プラズマCVD、そしてエッチングなどどのような反応にも対応可能…
『表面形状・シミュレーション・モジュール(FPSM2D)』は、 粒子モンテカルロ法により、基板表面での様々な反応を考慮し、 基板、堆積膜の経時変化を計算するモジュールです。 PVD、プラズマCVD、そしてエッチングなどどのような反応にも対応可能。 入射粒子情報(粒子フラックス、入射エネルギー・角度分布)はPEGASUS 気相モジュール、PEGASUS表面科学系モジュールからの出力...
メーカー・取り扱い企業: ペガサスソフトウェア株式会社
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シース内モンテカルロ・シミュレーション・モジュール(SMCSM)
内蔵のシースモデルを用いて、短時間で計算することが可能です!
『シース内モンテカルロ・シミュレーション・モジュール(SMCSM)』は、 プラズマシース端からシースを通ってシース底部(ターゲット表面)に 達するイオン、電子のエネルギー分布、角度分布等を計算します。 PIC-MCCM、PHMとも、計算時間がかかりますが、ターゲット表面のイオンの エネルギーについてのみを評価したい場合、当製品は内蔵のシースモデルを 用いて短時間で計算することが可能で...
メーカー・取り扱い企業: ペガサスソフトウェア株式会社
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