ペガサスソフトウェア株式会社 中性粒子連続体モジュール（NMEM）
- 最終更新日：2020-10-06 17:25:04.0
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『中性粒子連続体モジュール（NMEM）』は、複数種の原子・分子
（電荷を持たない粒子）からなる混合気体の流れ場を計算します。
中性粒子種各成分の拡散を考慮した流体の基礎方程式を解くことにより、
各成分の流量と密度を計算。
この基礎方程式は気体を連続体とみなしたもののため、Kn（クヌーセン数；
流れの希薄度を評価する無次元数Kn＝平均自由行程長／流れの代表長さ）が
およそKn<0.01の場合に対して適用できます。
【特長】
■ガス成分の種類ごとに密度と流量（フラックス）の空間分布が求まる
■圧縮性と粘性を考慮した流れの計算ができる
■プラズマとカップリングした計算が可能（PHMまたはPIC-MCCMとのカップリング）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報中性粒子連続体モジュール（NMEM）
【機能一覧（一部）】
■応用分野：各種装置内における気体の流れ解析（層流）
■モデリング手法：連続体モデル
■解析手法：FLIC法
■対象次元：2次元（デカルト座標系、軸対称座標系）
■ソルバー：ドライバー NMEM／モジュール NMEM
■座標系：デカルト（xy直交）座標系／円筒（rz直交）座標系
■メッシュ形状：直交メッシュ（不等間隔）
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ中性粒子連続体モジュール（NMEM）
取扱企業中性粒子連続体モジュール（NMEM）
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真空／プラズマ／希薄気体技術分野での物理現象を解析するシミュレーションソフトウェア；ＰＥＧＡＳＵＳ（プラズマ材料プロセス／希薄気体統合シミュレーションツール）を、自社独自で開発し販売しています。またそれに伴う技術受託解析や特殊カスタマイズ、特注ソフトウェア開発も行います。 ＰＥＧＡＳＵＳは、真空中での粒子挙動、プラズマ挙動、デポジション／エッチング挙動などを解析でき、これは、半導体、ディスプレー、光学、電気、電子、ＩＴそして環境関連産業などの分野で利用される、蒸着、ＣＶＤ、スパッタ、イオンプレーティング、ドライエッチングそして表面改質などの薄膜技術の製品開発をおこなう技術者／研究者にとって 『装置の設計・開発・改良・評価』 『材料、デバイスの開発・製造』 『プロセス技術の予測・開発・改良』 の効率化、実験及び試作コストの軽減を目的とした支援シミュレーションソフトウェアとなります。
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