フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

【新製品】エアリークを可視化ですぐに検知！ 産業用超音波カメラ

PR圧縮空気・ガスの漏れの「見える化」 圧縮エアー・ガスのリークを可視化す…

・圧縮空気・ガスの漏れの「見える化」 圧縮エアー・ガスのリークを可視化することで、すぐにピンポイントでガス漏れを画面上に表示することができます。高所や大きな配管の継手等、通常のガス検知器では難しい場所のリークも検知できます。ガス種は関係なく、可燃性ガス、蒸気のリークも検知できます。 ・見やすく操作しやすいディスプレイ 7インチのタッチスクリーンにより、簡単操作でリークを発見できます。周波数範...

メーカー・取り扱い企業： サニー・トレーディング株式会社 営業本部

PFC・PFN除害装置　「クリーンエスPF・PFN」

低温600℃以下、高分解率99％以上でPFC・SF6・NF3を除害処理

PFC・PFN除害装置「クリーンエスPF・PFN」は、低温（600℃以下）、高分解率（99％以上）でPFC・SF6・NF3を除害処理します。フッ素分を化合物として固定しますので後段でのフッ素分の処理が不要です。取扱いの容易な除害カラム（反応器）交換方式で、除害に必要なユーティリーティは電気、空気、窒素だけです。...●ガス検知器により反応器の終点（破過）を確認できる終点検知システム ●除害筒およ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ホクエツ