フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

冷熱ブライン循環装置『ブラインチラー』【精密な温度制御！】

PR循環ポンプ１台で冷却加熱ブラインを供給！ブライン供給配管の切替作業不要…

ブラインチラーは、「試験装置・温度制御用」「半導体・完成テスト用」を ご用意した冷熱ブライン循環装置です。循環ポンプ１台で-100℃～+100℃ のブラインを供給します。ブライン供給配管の切替作業は不要です。 【仕様】 ■冷凍方式：混合冷媒・マルチカスケード方式 ■加熱方式：電気ヒーター・ホットガス加熱方式 ■循環ポンプ・ブラインタンク内蔵 　◎循環量：10～20L/min　◎揚程：10～15m...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マック

【悪臭対策】半永久的に使用可能な自浄再生脱臭するセラミック

半永久的寿命を維持！吸収物質を強力分解し、常に安定した浄化能力を保持・…

『セラダイナミックス』は、空調ダクトや排ガスダクトに設置するだけで、 悪臭、油ミスト、有機溶剤を強力に吸着、分解、無害化し、悪臭防止法、 PRTR、近隣対策ができる自己再生脱臭セラミックです。 セラミックス自体は消耗することなく「分解反応」を発揮し続け、低濃度から 高濃度まで環境規制値を容易にクリアー。 制菌、除菌、静菌などのHACCP（危害分析重要管理点）にも対応します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ファインセラ

セラミックス触媒による排気脱臭技術『セラ・ダイナミックス』

繰り返し使えて長寿命！自己再生能力を持つセラミックでカンタン悪臭対策！

『セラ・ダイナミックス』は、セラミック触媒を使用し、 排気などのニオイを強力脱臭できる技術です。 空調ダクトや排ガスダクトに設置するだけで、悪臭、油ミスト、有機溶剤を 強力に吸着、分解、無害化し、悪臭防止法・PRTR・近隣対策ができます。 30万～40万種と言われる臭気成分に幅広く対応可能。 用途や臭気成分などの条件に合わせて選べる製品ラインアップも魅力です。 【『セラ・ダ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ファインセラ

セラクリーンUFO取付例　屋外・壁面設置

セラクリーンUFO取付例（半導体工場・HF＆HCl排気除去対策）

環境改善を主業務として、〈水と空気の浄化〉対策を世界に誇る弊社セラミックス技術の数々で産業界の様々な環境改善に寄与しております。 ...【製品の特長】 ○中～低臭気濃度向け・外気取入口、排気ギャラリ、空調ダクト、エアコン、排煙処理、 　除ミスト、除湿、調湿、セラマジック・セラブロックの最終仕上げ処理に。 ○表面積が大きいので接触・反応効率に優れる ○有害危険性ガス、オイルミスト、有機溶剤...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ファインセラ

セラクリーンUFO取付例 屋内カセット方式2

セラクリーンUFO取付例（学校給食設備の下水排気脱臭対策）

環境改善を主業務として、〈水と空気の浄化〉対策を世界に誇る弊社セラミックス技術の数々で産業界の様々な環境改善に寄与しております。 ...【製品の特長】 ○中～低臭気濃度向け・外気取入口、排気ギャラリ、空調ダクト、エアコン、排煙処理、 　除ミスト、除湿、調湿、セラマジック・セラブロックの最終仕上げ処理に。 ○表面積が大きいので接触・反応効率に優れる ○有害危険性ガス、オイルミスト、有機溶剤...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ファインセラ

セラクリーンUFO取付例 屋外設置

セラクリーンUFO取付例（製造工場のVOC排気除去対策）

環境改善を主業務として、〈水と空気の浄化〉対策を世界に誇る弊社セラミックス技術の数々で産業界の様々な環境改善に寄与しております。 ...【製品の特長】 ○中～低臭気濃度向け・外気取入口、排気ギャラリ、空調ダクト、エアコン、排煙処理、 　除ミスト、除湿、調湿、セラマジック・セラブロックの最終仕上げ処理に。 ○表面積が大きいので接触・反応効率に優れる ○有害危険性ガス、オイルミスト、有機溶剤...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ファインセラ

セラクリーンUFO取付例 屋外設置２

セラクリーンUFO取付例（半導体製造工場のVOC&有害物質20種以上！…

環境改善を主業務として、〈水と空気の浄化〉対策を世界に誇る弊社セラミックス技術の数々で産業界の様々な環境改善に寄与しております。 ...【製品の特長】 ○中～低臭気濃度向け・外気取入口、排気ギャラリ、空調ダクト、エアコン、排煙処理、 　除ミスト、除湿、調湿、セラマジック・セラブロックの最終仕上げ処理に。 ○表面積が大きいので接触・反応効率に優れる ○有害危険性ガス、オイルミスト、有機溶剤...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ファインセラ

セラクリーンUFO取付例 屋外設置・移動式

セラクリーンUFO取付例（石油精製プラントのVOC排気対策）、移動式。…

環境改善を主業務として、〈水と空気の浄化〉対策を世界に誇る弊社セラミックス技術の数々で産業界の様々な環境改善に寄与しております。 ...【製品の特長】 ○中～低臭気濃度向け・外気取入口、排気ギャラリ、空調ダクト、エアコン、排煙処理、 　除ミスト、除湿、調湿、セラマジック・セラブロックの最終仕上げ処理に。 ○表面積が大きいので接触・反応効率に優れる ○有害危険性ガス、オイルミスト、有機溶剤...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ファインセラ

セラクリーンUFO取付例 屋内設置

セラクリーンUFO取付例（自動車部品工場排気のオイルミスト＆臭気低減対…

環境改善を主業務として、〈水と空気の浄化〉対策を世界に誇る弊社セラミックス技術の数々で産業界の様々な環境改善に寄与しております。 ...【製品の特長】 ○中～低臭気濃度向け・外気取入口、排気ギャラリ、空調ダクト、エアコン、排煙処理、 　除ミスト、除湿、調湿、セラマジック・セラブロックの最終仕上げ処理に。 ○表面積が大きいので接触・反応効率に優れる ○有害危険性ガス、オイルミスト、有機溶剤...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ファインセラ

セラクリーンUFO取付例 UFOシリーズ使用例

セラクリーンUFO取付例（廃油再生工場排気のオイルミスト＆臭気低減対策…

環境改善を主業務として、〈水と空気の浄化〉対策を世界に誇る弊社セラミックス技術の数々で産業界の様々な環境改善に寄与しております。 ...【製品の特長】 ○中～低臭気濃度向け・外気取入口、排気ギャラリ、空調ダクト、エアコン、排煙処理、 　除ミスト、除湿、調湿、セラマジック・セラブロックの最終仕上げ処理に。 ○表面積が大きいので接触・反応効率に優れる ○有害危険性ガス、オイルミスト、有機溶剤...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ファインセラ

セラクリーンUFO取付例 セラマジック+UFO-MIX使用例4

セラクリーンUFO取付例（リサイクル工場内、塗装排気VOC除去・低減対…

環境改善を主業務として、〈水と空気の浄化〉対策を世界に誇る弊社セラミックス技術の数々で産業界の様々な環境改善に寄与しております。 ...【製品の特長】 ○中～低臭気濃度向け・外気取入口、排気ギャラリ、空調ダクト、エアコン、排煙処理、 　除ミスト、除湿、調湿、セラマジック・セラブロックの最終仕上げ処理に。 ○表面積が大きいので接触・反応効率に優れる ○有害危険性ガス、オイルミスト、有機溶剤...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ファインセラ

セラクリーンUFO取付例　屋上排気口設置

セラクリーンUFO取付例（調理排気脱臭対策・焼肉店舗）

環境改善を主業務として、〈水と空気の浄化〉対策を世界に誇る弊社セラミックス技術の数々で産業界の様々な環境改善に寄与しております。 ...【製品の特長】 ○中～低臭気濃度向け・外気取入口、排気ギャラリ、空調ダクト、エアコン、排煙処理、 　除ミスト、除湿、調湿、セラマジック・セラブロックの最終仕上げ処理に。 ○表面積が大きいので接触・反応効率に優れる ○有害危険性ガス、オイルミスト、有機溶剤...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ファインセラ

セラクリーンUFO取付例 屋内カセット方式

セラクリーンUFO取付例（駅前再開発・OA脱臭・清浄化対策）

環境改善を主業務として、〈水と空気の浄化〉対策を世界に誇る弊社セラミックス技術の数々で産業界の様々な環境改善に寄与しております。 ...【製品の特長】 ○中～低臭気濃度向け・外気取入口、排気ギャラリ、空調ダクト、エアコン、排煙処理、 　除ミスト、除湿、調湿、セラマジック・セラブロックの最終仕上げ処理に。 ○表面積が大きいので接触・反応効率に優れる ○有害危険性ガス、オイルミスト、有機溶剤...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ファインセラ

セラクリーンUFO取付例 セラブロック+UFO-MIX使用例

セラクリーンUFO取付例（駅前再開発ビルの飲食店舗調理排気脱臭対策）

環境改善を主業務として、〈水と空気の浄化〉対策を世界に誇る弊社セラミックス技術の数々で産業界の様々な環境改善に寄与しております。 ...【製品の特長】 ○中～低臭気濃度向け・外気取入口、排気ギャラリ、空調ダクト、エアコン、排煙処理、 　除ミスト、除湿、調湿、セラマジック・セラブロックの最終仕上げ処理に。 ○表面積が大きいので接触・反応効率に優れる ○有害危険性ガス、オイルミスト、有機溶剤...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ファインセラ

セラクリーンUFO取付例 セラマジック+UFO-MIX使用例

セラクリーンUFO取付例 食品工場の発酵臭気脱臭対策

環境改善を主業務として、〈水と空気の浄化〉対策を世界に誇る弊社セラミックス技術の数々で産業界の様々な環境改善に寄与しております。 ...【製品の特長】 ○中～低臭気濃度向け・外気取入口、排気ギャラリ、空調ダクト、エアコン、排煙処理、 　除ミスト、除湿、調湿、セラマジック・セラブロックの最終仕上げ処理に。 ○表面積が大きいので接触・反応効率に優れる ○有害危険性ガス、オイルミスト、有機溶剤...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ファインセラ

セラクリーンUFO取付例 セラマジック+UFO-MIX使用例２

セラクリーンUFO取付例 食品工場の発酵臭気脱臭対策

環境改善を主業務として、〈水と空気の浄化〉対策を世界に誇る弊社セラミックス技術の数々で産業界の様々な環境改善に寄与しております。 ...【製品の特長】 ○中～低臭気濃度向け・外気取入口、排気ギャラリ、空調ダクト、エアコン、排煙処理、 　除ミスト、除湿、調湿、セラマジック・セラブロックの最終仕上げ処理に。 ○表面積が大きいので接触・反応効率に優れる ○有害危険性ガス、オイルミスト、有機溶剤...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ファインセラ