フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

冷熱ブライン循環装置『ブラインチラー』【精密な温度制御！】

PR循環ポンプ１台で冷却加熱ブラインを供給！ブライン供給配管の切替作業不要…

ブラインチラーは、「試験装置・温度制御用」「半導体・完成テスト用」を ご用意した冷熱ブライン循環装置です。循環ポンプ１台で-100℃～+100℃ のブラインを供給します。ブライン供給配管の切替作業は不要です。 【仕様】 ■冷凍方式：混合冷媒・マルチカスケード方式 ■加熱方式：電気ヒーター・ホットガス加熱方式 ■循環ポンプ・ブラインタンク内蔵 　◎循環量：10～20L/min　◎揚程：10～15m...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マック

サーボ電動ガスブースター、Haskel社

画期的な圧縮技術により独特でクリーン、且つ高流量出力と比類のない高効率…

HASKELが御社が期待される信頼性と安全性を実体化。 Q-Driveはガス移送と圧縮に革新をもたらしました。スマートサーボ電動技術に基づき、Q-Driveは効率性、清浄性と静音圧縮性を達成致します。 この革新的ブースターは最適な性能と高流量の要求に応じ製作されています。 ＜利点＞ ■ コンパクトでも流量と圧力の消失なし ■ 優れたデザインで、迅速なシール部材交換は該当装置にあっ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンコントロールス 「Japan Controls Co. Ltd.」株式会社 東京本社

可変型差圧スイッチ

604DZ-7011シリーズ　14～517KPa、軽量

ジャパンコントロールスがお届けする圧力・温度スイッチの専門メーカー、CCS（カスタムコントロールセンサーズ社）の可変型差圧スイッチのご紹介です。 接液部の材質をアルミとステンレススチルから指定できます。...【特徴】 ■振動に強い ■ガス・液体に使用可能 【仕様】 ■温度範囲：-34～+71℃ ■重量：約1.5kg □その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンコントロールス 「Japan Controls Co. Ltd.」株式会社 東京本社