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PR高速かつ正確なガラス微細加工が可能。加工時の応力を抑えて、マイクロクラ…
『LPKF Vitrion M 5000 Gen2』は、独自に開発した「LIDEプロセス」を採用し、±5μm以下の高精度でガラス微細加工が可能なレーザーシステムです。 加工時の応力を最小限に抑え、チッピングやマイクロクラックの発生を防止。 アドバンストパッケージングで標準使用される150×150mmから 510×515mmまでの大型パネルに対応し、基板のサイズや 形状に合わせて柔軟に対...
メーカー・取り扱い企業: LPKF Laser&Electronics株式会社
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PRMHS-300Sでは対応できなかった第二世代までのマザーガラスに対応の…
研究・開発向けの半自動ガラススクライバーです。 スクライブパターンの登録が4種類まで可能です。 自動運転の場合、処理が完了すると、ブザー鳴動してお知らせします。 カッターは、切込み量と圧力の2つの調節が行えます。 一連の処理が完了すると自動で真空破壊されるので、段取り替えが容易です。 安全仕様として、安全カバー、インターロック、非常停止、吸着センサーが 標準で装備されています。 .....
メーカー・取り扱い企業: 株式会社イーエッチシー
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両面アライメントと、プロキシミティおよびソフトコンタクト露光が可能
ウェハ、ガラス基板などのフォトリソ工程において、ガラスマスクとワークをアライメントし、板上にコーティングされたフォトレジストに、微細なマスクパターンを転写するマスクアライナーです。...
メーカー・取り扱い企業: ウシオライティング株式会社
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搬送系はローラコンベア方式でインラインとして利用可能!
ガラス基板などのフォトリソ工程において、ガラスマスクとワークをアライメントし、ソフトコンタクト露光で微細なマスクパターンを転写する露光機です。...
メーカー・取り扱い企業: ウシオライティング株式会社
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顕微鏡オート移動など、生産性、使い勝手に優れたアライナ
2インチウエハ対応のマニュアル露光装置です。 オペレータがマニュアルでウエハをセットする露光装置です。4インチのガラスマスクを使用し、フォトマスクとウエハのアライメントマークを顕微鏡で撮像、モニタに写しだされた画像を見ながらの位置合わせと、露光ギャップ設定を行うことで、露光が可能です。 なお、露光スイッチを押す...
メーカー・取り扱い企業: ウシオライティング株式会社
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