エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

ICタグによるクリーンウェア管理サービス

PRICタグによりウェア管理業務を省力化！ 洗濯回数が把握できるようにな…

当社では、お客様のクリーンウェアにICタグを取り付け、当社工場への 入荷時と出荷時に専用のICタグリーダーで読み取りを行い、ウェアごとの 洗濯回数データを管理できる『ICタグによるクリーンウェア管理サービス』を行っております。 ICタグを取り付けたウェアごとに洗濯回数を個別管理できるため、 お客様が設定された洗濯回数を超えたウェアをタイムリーに交換可能。 ウェア劣化によるコンタミネー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社菱進

ジェーイーエル　製品総合カタログ

半導体搬送ロボットやアライナ等製品を多数掲載した総合カタログです。

トをはじめ、水平多関節型クリーンロボット、円筒座標型真空対応クリーンロボット等の各種搬送ロボット製品を多数掲載しております。 ３軸円筒座標型クリーンロボット「SCR3000CS」は、スーパークリーンルーム用の製品です。半導体製造装置内、検査装置内のウエハ搬送用に適しています。装置レイアウトに合わせてベースタイプ、フランジタイプを選択することができ、動作モニターを装備しています。４軸水平多関節型...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

バッファーコンベアII型『TB-9819』

ワークに衝撃振動を与えることなく搬送可能！クリーンルーム仕様のコンベア

『TB-9819』は、ハードディスクアルミニウム製造ラインのサブストレート 収納カセット自動搬送、前後工程の受渡し用コンベアです。 クリーンルームクラス10,000対応。 移載部コンベア部はワークに衝撃振動を与えることなく搬送します。 【特長】 ■クリーンルームクラス10,000対応 ■ワークに衝撃振動を与えず搬送可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トーテック 城岡工場

液晶・ガラス関連設備のご紹介

大型総合ガラス基板搬送設備など液晶・ガラス関連設備の製品ラインアップを…

『液晶・ガラス関連設備』をご紹介します。 「大型総合ガラス基板搬送設備」は、エア浮上CV、光学位置決め装置、高速移載装置、 ロボットローダー、バッファ装置、基板旋回装置などで構成されるクリーンルームでの 大型ガラス基板搬送ラインです。 そのほか、「ガラスパッカー・アンパッカー」をはじめ、「エアー浮上搬送装置」や、 「ワイヤーカセットバッファ装置」などをラインアップしています。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンテック

ウェーハ搬送装置『PWT2020』

5枚単位・25枚単位の搬送も対応可能！誤操作防止センサ、緊急停止ボタン…

【特長】 ■省スペース ■静電気対策型 ■光および機械センサーでエラーを監視 ■マッピングセンサー付き ■FOUP・FOSB・H-Square社製メタルカセットに対応 ■クラス10クリーンルーム対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： PHT株式会社

FA設備　企画・設計・製作サービス

自動組立機、自動搬送装置等のFA設備の企画・設計・製作ならお任せくださ…

メーション)設備の企画・設計・ 製作サービスを行っています。 コンサルティングから搬入・設置まで一貫してサポートいたします。 お客様の仕様に合わせて各種ご対応させていただきます。 クリーンルーム対応も可能です。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【実施例】 ■リーク検査機 ■ラベル貼付機 ■異物除去装置 ■ウェイトチェッカー付き搬送装置 ■FFU付き...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エムエムディー

搬送関係システム『ボートローダ』

基板サイズの選択が可能！マガジンの接触部にはSUS（ステンレス鋼）フレ…

【オプション】 ■カバー装着タイプ ■クリーンルーム用SUS（ステンレス鋼）装置（塗装ナシ） ■デュアルレーン ■CEタイプ ■RS-485（EIA規格） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ペントロンジャパン

搬送関係システム『ボートアンローダ』

ボート基板を傷つけない！サーボモータによる正確なコントロールが可能

【オプション】 ■カバー装着タイプ ■クリーンルーム用SUS（ステンレス鋼）装置（塗装ナシ） ■デュアルレーン ■CEタイプ ■RS-485（EIA規格） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ペントロンジャパン