クリーンルーム | イプロスものづくり

PR軽量・高強度のアルミフレームを活用した安全柵・安全カバーを制作！ロボッ…

軽量・高強度のアルミフレームで作る安全柵・安全カバー・クリーンルームをお探しの方はいませんか？オリジナルアルミフレームで安全柵、安全カバーを客様のご要望通りに製作します。【アルミフレーム安全柵・安全カバーの特長】 ◆柔軟なレイアウト設計が可能な安全柵様々な寸法のパネル・扉・天井部分の組合せで自由自在にレイアウト。 ◆取付け工事が簡単色々なパターンの安全柵が連携プレー...

メーカー・取り扱い企業：鍋清株式会社

【展示会出展】医療機器部品の受託加工（ISO13485取得）

PRクリーンルーム（クラス10,000）完備！医薬・ヘルスケア製品の開発試…

弊社では、バイオサイエンス分野などで活躍する『樹脂製マイクロチップの受託製造サービス』をはじめ、医薬部品の受託加工を行っています。『樹脂製マイクロチップ』では、ポリプロピレン系樹脂とエラストマー系樹脂から成るオリジナル樹脂材料を使用し 0.3～100μmというマイクロオーダーの加工が可能。さらに、均一な深さの流路を実現。射出成形による量産に対応しており、低コストでの生産が可能です。また、開...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リッチェル

クリーンルーム/スーパークリーンルームで使える6軸ロボット

高いクリーン度が求められる環境下での実績が多いストーブリクリーンルーム…

クリーンルーム/スーパークリーンルームに対応したストーブリのSCRロボットシリーズは、クリーン度の高い環境下での作業ニーズに応えるために特別に開発された6軸ロボットです。これらのロボットは、半導体、バイオテクノロジー、医薬、医療などの産業分野において認証が求められるクリーン度クラス2（ISO規格）に準拠しています。【特長】 ■より高い安全性と生産性 ■作業環境の改善、事故リスクの減少...

メーカー・取り扱い企業：ストーブリ株式会社

既存空室のクリーンルーム転用に　フロアーコーチTz　興研代理店

■既存建屋の一般的な天井高さ2400mmの部屋をクリーンルームに転用可…

■一般建屋内の天井高さ2400mmの部屋に設置するだけで、人が立って作業できる2100mm高さのスーパークリーンルーム(清浄度ISOクラス１)に転用可能。プッシュフードとガイドスクリーンだけの簡単な構成でISOクラス1を実現できます。既存建屋に多い室内天井高2,400mmの一般的な建物を改築すること...

メーカー・取り扱い企業：泉州機工株式会社

特殊構造採用の電気ヒーター　気体加熱器『クリーンホット』

断熱材不要で高効率、クリーン加熱が可能なヒーター！気体加熱器「クリーン…

熱効率がよく、加熱対象ガスをすばやく昇温し、正確な温度制御が可能な電気ヒーターです。内部特殊構造により、断熱材を使用しなくても外装パイプ表面温度の低温化を実現。断熱材不要なためクリーンルームなどの環境で使用可能。ヒーター容量（W）に応じて6種類のラインナップから選択可能です。製造業現場においての使用用途としては『空気や窒素ガス等不活性ガスの高温加熱』『ウェット...

メーカー・取り扱い企業：新熱工業株式会社本社

クリーンルーム内の重量物搬送に！【エアーキャスター】

エアーの力で重量物を浮上させ、ごくわずかな力で搬送できる装置です！国内…

力で移動搬送することができます。【特徴】 ■摩擦抵抗が約１／１０００。１０００Ｋｇの重量物もわずか１Ｋｇの力で移動できます。 ■生産ラインの変更、機械の位置決めが思いのまま。 ■クリーンルーム内での重量物の運搬に好適。 ■振動が少なく露光装置、半導体装置等の精密機器の搬送に最適。 ■床を傷めず重量物の移動が可能。 ■プラントエアーで運転できる。 ■騒音や粉塵の心配がなく、防...

メーカー・取り扱い企業：株式会社関西加工機商会

クリーンルーム・真空用アルミホイル

クリーンルーム内や真空チャンバー内で使用できる完全オイルフリー・コンタ…

クリーンルーム内や真空チャンバー内で使用できる完全オイルフリー・コンタミフリーなアルミホイルです。アルミ箔はプラスチック製の芯棒に巻かれており、ビニールでラップされております。ケースもプラスチック製なので紙類は一切使用されておりません。クリーンルーム内でも安心してご使用いただけます。完全クリーンなアルミ箔なので、真空装置内部例えば蒸着装置などの防着板の代わりとして使い捨てでご使用いただけます...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノポート

【コンタミナント対策用換気装置ラミコーチ　局所クリーン化】興研

■クリーンルームのコンタミ対策に ■プッシュプルでコンタミを捕捉

[クリーンルーム内の使用] 「LAMIKOACH」をクリーンルーム内で使用することで換気エリア内の清浄度を高めることが可能です。コンタミネーション対策の局所クリーン化に最適です。室内循環式タイプ ...

メーカー・取り扱い企業：泉州機工株式会社

フロアーコーチ Ezp　清浄度ISOクラス１　興研株式会社

フード前方のガイドスクリーン長は、20mまで可能天井に重量物が無く…

■既存建屋をスーパークリーンルーム(清浄度：ISOクラス１)に転用できます。従来型の「フロアーコーチEx」「フロアーコーチEz」は共に全換気時間（スイッチONから全域が目標クリーン度を達成するまでの時間）が極めて短いため、...

メーカー・取り扱い企業：泉州機工株式会社

局所クリーン化・コンタミナント対策ラミコーチ J 500-F

コンパクトタイプ・持ち運びが可能・プルフードにFERENAを搭載

捉して排気します。また、対象となる作業場の空間を仕切り等によって囲うことなく換気できるので、作業スペースを有効に使え、かつ作業者に対しても開放感があり、作業性を損ないません。【クリーンルーム内の使用】 クリーンルーム内で使用することで換気エリア内の清浄度を高めることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業：泉州機工株式会社

生産設備　設計・製作サービス

ラインすべての自動化を一貫体制でご提案します

)などのマテリアルハンドシステム(マテハン)による、工程管理の最適化により、ムダの最小化、コストの削減に貢献。また、液晶ガラス基盤(LCD)、半導体ウエハの製造工程における クリーンルーム内のハンドリング装置もご提案いたします。【特長】 ■搬送物、搬送条件に応じた搬送・移載設備の設計・製造 ■生産工程から搬送工程の自動化、スピード化の実現 ■製造工程におけるクリー...

メーカー・取り扱い企業：レック株式会社

●CP72・64シリーズ●【クリーンペーパー】※サンプル提供可

クリーンルーム内で使用可能なクリーンペーパー(無塵紙)

CP72/64シリーズは発塵を抑えた、クリーンルーム内で使用可能なクリーンペーパー(無塵紙)です。...

メーカー・取り扱い企業：大日貿易株式会社本社

パワーロック　ＴＦ−ＫＰシリーズ（無電解ニッケルメッキ仕様）

内外径寸法比が小さく、小径ハブにも取り付け可能なパワーロックＴＦシリーズに、無電解ニッケルメッキ仕様が加わりました。比較的クリーン度の低いクリーンルームでの簡易防錆や、軽度の耐食性が求められる用途に最適です。適用軸径は１０mm〜９０mmまでの３０サイズの品揃え。特長・潤滑効果付きコーティングボルトの採用により、組付　け時のオイル、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社椿本チエイン　パワートランスミッション事業部門

【半導体対応】100％水切りできる『エアースクリューノズル』

エアーブローでの完全水切りがついに実現！瞬時な100％水切り・完全乾燥…

き出す力に特に優れているため、残留した水を掻き出し切り、完全乾燥を実現します。 ■特長３：あらゆる業界に導入可能当エアーノズルは、水切り乾燥を要する幅広い業界・業種で導入が可能です。またクリーンルーム対応（クラス100対応）のため、半導体をはじめとした精密工場でもご使用いただけます。...

メーカー・取り扱い企業：ピュアトラスト株式会社

コンタミネーション対策,局所クリーン化,テーブルコーチ興研製

■実験環境のコンタミネーション対策が、簡単かつ安定的に実施できます。

移動が可能 ◆室内の必要な箇所のみ、局所クリーン化できる ◆圧倒的に清浄度が高く、清浄度の維持も楽 ◆建屋では無く、機器となるのでコストが安い ◆オープンなので、作業性が良好 ◆一般クリーンルームと比較し、超低消費電力 ◆移動が楽で、後日製造ラインのレイアウトを変更する場合も、　転用可能で設備投資に失敗が無い ◆圧倒的に設置期間が短い(納品即日、使用開始できる) オープン...

メーカー・取り扱い企業：泉州機工株式会社

水なし、風だけでパーティクルを徹底除去『エアースクリューノズル』

【もはや革命】水洗浄不要！エアーブローだけでパーティクルを除去します

て掻き出す力に特に優れているため、溝や窪みの奥までリーチし、エアーブローだけで落としていきます。 ■特長３：あらゆる業界に導入可能当エアーノズルはクラス100に対応。半導体をはじめとしたクリーンルーム内で使用できるだけでなく、洗浄工程を要する幅広い業界業種で導入可能。これまで業界大手をはじめ、多くの企業や工場に納入実績がございます。...

メーカー・取り扱い企業：ピュアトラスト株式会社

【コンタミナント対策ラミコーチ　局所クリーン化】興研　代理店

■気流がコンタミナントを捕捉する■HEPAフィルタ搭載■ファン内蔵、室…

捉して排気します。また、対象となる作業場の空間を仕切り等によって囲うことなく換気できるので、作業スペースを有効に使え、かつ作業者に対しても開放感があり、作業性を損ないません。【クリーンルーム内の使用】 クリーンルーム内で使用することで換気エリア内の清浄度を高めることが可能です。 ■オープンクリーンシステムKOACH・コンタミナント対策用換気装置ラミコーチ・プッシュプル型換...

メーカー・取り扱い企業：泉州機工株式会社

クリーンルームに適した耐震金具カタログ

アンカーレス耐震工法なので、床への穴あけ作業が無く粉塵や振動が発生しま…

今まで生産設備や研究機器の地震対策を考えた時、アンカーでの対策が一般的でした。しかしアンカー対策を行う場合は、床への穴あけ作業のため粉塵や振動が発生し、クリーンルームなどでは対策自体が行えない場合がありました。アンカーレス耐震工法の場合は、プロセブン耐震マットと専用の耐震金具を使用するため床への穴かけは必要なく、施工時に粉塵に振動は一切発生しません...

メーカー・取り扱い企業：株式会社旭電通

【KOACHショールームのご紹介】興研株式会社代理店

■ISOクラス１のクリーンゾーンを体感できる■実機デモ可能■事前予約制

） ◆数分で形成する高清浄度のクリーンゾーン ◆抜群な清浄度の回復力※ （一旦汚れても数分で元の清浄度に戻る） ※パーティクルカウンター用意あり。リアルタイムで確認可能。従来のクリーンルームは総合的な建設が必要であり、時間も費用も要することが常識でした。しかし、オープンクリーンシステム「KOACH」は機器であり、２台１組のユニットを置くだけで、その間のオープンな空間に世界最高レベ...

メーカー・取り扱い企業：泉州機工株式会社

【フロアーコーチ自社大型ショールームのご紹介】興研代理店

■大阪府堺市に新規開設■国内最大級の大型ショールーム■実際の作業時の清…

） ◆数分で形成する高清浄度のクリーンゾーン ◆抜群な清浄度の回復力※ （一旦汚れても数分で元の清浄度に戻る） ※パーティクルカウンター用意あり。リアルタイムで確認可能。従来のクリーンルームは総合的な建設が必要であり、時間も費用も要することが常識でした。しかし、オープンクリーンシステム「KOACH」は機器であり、２台１組のユニットを置くだけで、その間のオープンな空間に世界最高レベ...

メーカー・取り扱い企業：泉州機工株式会社

半導体製造装置「デスクトップ・フリップチップボンダー」

クリーンルーム不要！工場小型化が実現可能なフリップチップボンダー

「デスクトップ・フリップチップボンダー」は、局所クリーン技術と組み合わせることにより、クリーンルーム不要でコンパクトな半導体の組立ラインを構築することができます。特別な薬液は使用せず、騒音などもありませんので、どこにでも工場を作ることが可能。コンビニエンスストアくらいの建物があれば多品種...

メーカー・取り扱い企業：コネクテックジャパン株式会社

サファイア基板ウエハ用非接触搬送装置「フロートチャックWAS」型

排気を回収機構を具え、クリーンルームへの排気を減少させ、位置決機構…

増加し、負圧発生が効率良く行われてます。　　作動面とウエハとの間隙を通過した排出空気は、周囲を取り巻くフードにより補足され、排気口より吸引され所定の場所に排出される。そのため高速空気噴流がクリーンルーム内に流入することが少なく、ゴミの排出、塵の巻き上げることがありません２．位置決め機構：「フロートチャックWAS型」に装着しているガイドは、保持ウエハの外周可触部に接触するガイド底端部の形状...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

マントルヒータ　Mantle heater

配管部品の均一加熱を実現！CVDエッチング・アッシング装置に適していま…

素子の取り付けなどオプションで承ります。【特長】 ■最高使用温度400℃（高温用は別途ご相談） ■被加熱物との良好な密着性を確保 ■発熱線を高密度に実装し、温度均一性を向上 ■クリーンルームでの使用にも対応 ■立体形状のヒータが製作可能 ■断熱材と一体型のヒータで省エネに貢献 ■メンテナンス性を考慮した脱着可能な構造 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問...

メーカー・取り扱い企業：ワッティー株式会社

HDテクスチャ加工用　半導体製造装置　

超精密フィルムラッピングマシン【特徴】 ○クリーンルーム内でのHD（ハードディスク）製造工程における、ラッピング（研磨）マシン ○クリーニングテープと洗浄装置も搭載し、多くの素材に対応 ○高精度の超精密研磨が要求される場面でも安定した作業が行え...

メーカー・取り扱い企業：泉谷機械工業株式会社大仙工場

株式会社テック・エンジニアリング取扱い製品総合カタログ

半導体関連製品やクリーンルーム設備などの製品を紹介します。

株式会社テック・エンジニアリング取扱い製品総合カタログでは、シリンダーキャビネットやレギュレーターボックス、排ガス処理装置、マルチファンクションコンビネーションなどの「半導体関連製品」、クリーンルーム、各種精製ガス装置、除外装置などの「クリーンルーム設備」、ヒータージャケット、特殊ベローズなどの「シナテク社製品」等、多数掲載しています。【掲載製品】 ○半導体関連製品 ○クリーン...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テック・エンジニアリング

半導体材料　ＡＬＤ／ＣＶＤ材料

高・強誘電材料、電極材料、配線材料等で多くのオリジナル製品を開発

ＡＬＤ／ＣＶＤ材料の開発に着手してまいりました。その結果、高・強誘電材料、電極材料、配線材料等で多くのオリジナル製品を開発、国内外のお客様より高い評価を得ております。これらは、合成から一貫してクリーンルーム内で作業が行われ、スピーディーな製品設計が可能であると同時に、試作から量産へのスムーズなシフトも実現できる専用工場で生産されております。詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせくだ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ADEKA

【安衛法ナノ粒子対策に適応　ラミコーチL645-H】興研代理店

■安衛法ナノ粒子対策適応■HEPAフィルタ搭載■ダクト室外排気(ファン…

◆クリーン化された吹き出し気流をダクトで室外に排気※1 ◆HEPAフィルタ搭載(プッシュフード、プルフード共に) ※1：プルフードには別途、ファン及びダクト等が必要となります [クリーンルーム内の使用] 「LAMIKOACH」をクリーンルーム内で使用することで換気エリア内の清浄度を高めることが可能です。コンタミネーション対策としての局所クリーン化に最適です。 [用途例] ...

メーカー・取り扱い企業：泉州機工株式会社

信濃化工株式会社　事業紹介

鍍金の材料から設備までのトータル的なコーディネイトをメインに手がけてい…

材料部門、ユニフォーム部門、クリーン資材部門の3つからなる総合商社です。あらゆる産業分野に対応した鍍金薬品・設備・羽布研磨材をはじめ、作業環境の清浄度及び製品の品質向上に有用なクリーンルーム副資材や、各種作業服・事務服などのユニフォームを取り扱っております。 クリーンルーム内に於ける副資材と作業服などのユニフォーム等に於けるイメージアップのサポートをさせていただきま...

メーカー・取り扱い企業：信濃化工株式会社

【フィルタ(FERENA)の特徴・仕様　興研KOACH】興研

◆HEPAフィルタなみの低圧損で、ULPAフィルタなみの捕集効率を誇る

オープンクリーンシステムKOACHのメリット】 ◆圧倒的に清浄度が高く、清浄度の維持も楽 ◆建屋では無く、機器となるのでコストが安い ◆オープンなので作業性が良好 ◆超低消費電力。一般クリーンルームの1/10(スリープ時) ◆移動が楽で、後から拡大縮小もできる為、設備投資に失敗が無い ◆天井に重量物が無く、地震に強い ◆圧倒的に設置期間・工期が短い ■オープンクリーンシステム...

メーカー・取り扱い企業：泉州機工株式会社

排気回収機構を設けた「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」

クリーンルームにて使用可能「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」

排気回収機構を具え、クリーンルームへの排気の排出を減少させ、クリーンルーム内での使用を可能にした「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」 ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

飛来物防止板(興研テーブルコーチ KOACH T 500-F)

粗大粒子等重量飛来物の落下対策。コンタミネーションコントロールとして最…

移動が可能 ◆室内の必要な箇所のみ、局所クリーン化できる ◆圧倒的に清浄度が高く、清浄度の維持も楽 ◆建屋では無く、機器となるのでコストが安い ◆オープンなので、作業性が良好 ◆一般クリーンルームと比較し、超低消費電力 ◆移動が楽で、後日製造ラインのレイアウトを変更する場合も、　転用可能で設備投資に失敗が無い ◆圧倒的に設置期間が短い(納品即日、使用開始できる) ■オープ...

メーカー・取り扱い企業：泉州機工株式会社

フラットパネル・半導体関係の各種装置の設計・製作

大型ガラス基板に対応したFPD用製造装置、各種半導体製造装置のEMSの…

FPD関連事業、半導体関連事業におけるEMSに多数の実績を有しております。国内最大級のクリーンルームを活用してお客様のご要望にお応えいたします。 ■FPD関連事業国内最大級のクリーンルームを備え、「第10世代以上の大型ガラス基板」に対応した製造装置のEMSによる生産を行っています。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社メイコー

高温炉用熱電対(半導体製造装置向け)「高精度な温度測定機能」

高精度な温度測定機能により、熱処理工程の温度制御に好適！

高温炉での熱処理工程の温度制御・温度測定用センサとしてご使用頂いております。【特徴】　・新品の製作はもちろん、お使いの各種熱電対の改鋳も承っております　・専用のクリーンルームにて生産しています　・高精度を実現します　　厳選された素線（高純度材料）を用い、全数温度試験を行い、専用の梱包箱にて出荷いたします　・高温炉内温度を正確に測定いたします　・最先...

メーカー・取り扱い企業：株式会社渡辺商行

低価格セルクリーンブース

低価格な激安クリーンブースでクリーン品質とほこりを除去。目ずまり無し。

-悪環境に非常に強く、メンテナンス期間をグーーンと延ばすことが出来ます！ クリーンルーム内の紙資料閲覧ブースとしても使えます。特に悪環境に強くフィルター目詰まりがありません。空気の流れをコントロールで、商品はいつもクリーンに保てます。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社実装応援団

ＦＭ４９１０規格適合塩化ビニル樹脂板　ＦＭプレート

半導体工場の火災に対する安全性に貢献するFM4910規格適合樹脂板

クリーンルーム用難燃性能認定基準ＦＭ４９１０規格認定樹脂板。耐着火性、耐延焼性が良好で、火災時の発煙量も少量、耐薬品性、加工性にも優れています。耐熱・耐薬品性品、制電機能製品や、鉛フリー製品　PP、ＰＶＤＦも取り揃えております。...

メーカー・取り扱い企業：タキロンシーアイグループタキロンシーアイ株式会社

薬品保管庫

クリーンルームに対応した排気機能付き薬品保管庫

【特長】 ■クリーンルームに対応した排気機能付き薬品保管庫です。 ■酸・アルカリ系薬品に適した塩ビ製、有機系薬品に適したステンレス製の製作ができます。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダルトン

半導体関連部品への精密洗浄

精密な洗浄装置とクリーンな環境を整備！アルミ、ガラス、セラミック等に対…

ヱビナ電化工業では『半導体関連部品への精密洗浄』を行っています。清浄度が必要な精密部品に適用可能。クリーンルーム内で洗浄から梱包まで行いパーティクルを抑制します。また、めっき・洗浄・梱包まで社内一貫対応のため、表面処理＋洗浄のリードタイムを短縮できます。【特長】 ■清浄度が必要...

メーカー・取り扱い企業： EBINAX株式会社旧ヱビナ電化工業(株)

千住金属工業　クリーンリフロー炉 CX-430

半導体用クリーンルーム対応リフロー炉

ウェハーレベルのソルダバンプ形成とベアチップのフェースダウン実装を可能にした最新のマイクロソルダリング用リフロー炉です。...【特徴】 ○炉内清浄度クラス1000を実現（ウォーキングビーム搬送方式と遠赤・輻射加熱方式） ○炉内酸素濃度100ppm以下（気密性に優れたチャンパー構造） ○フラックスヒューム回収装置炉内で発生したフラックスヒュームは回収装置によって回収・除去 ○自在...

メーカー・取り扱い企業：千住金属工業株式会社

連続コーチ R 1050-F　清浄度ISOクラス1　興研

横に並べることで、いくらでもクリーン空間を横に広げられます。

目からのコンタミナントの混入を防ぐ技術【KOACHのメリット】 ◆移動が楽で、後から拡大縮小もできる為、設備投資に失敗が無い ◆室内の必要な箇所のみ、局所クリーン化できる ◆一般クリーンルームと比較し、超低消費電力 ◆移動が楽で、後日製造ラインのレイアウトを変更する場合も、　転用可能で設備投資に失敗が無い...

メーカー・取り扱い企業：泉州機工株式会社

ジャケットヒーターシステム

PID制御でさらに温度均一性を保つ配管用ジャケットヒーター

【特長】・200℃までの高温まで加熱可能・多重絶縁構造のアース付きフレキシブル発熱エレメントは高安全性で丈夫・コールドスポットがなく、温度均一性に優れます・半導体装置用のクリーンルーム用途を目的とした低発塵性タイプを用意・フレキシブルで脱着性、フィット感がよい・CEマーク、UL認定有り【専用の温調 & モニターシステム】・通信機能で各ジャケットヒー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東京興業貿易商会本社

遠赤外線ヒーター

真空状態やクリーンルームでも使用可能！設計の自由度が高い遠赤外線ヒータ…

った大判化を実現したヒーターです。その他次のような特徴があります。 ●クイックレスポンス（応答性） ●高い効率のＩＲ（遠赤外線）特性が得られる ●設計の自由度が高い（形状・Ｗ密度） ●クリーンルームでの使用が可能 ●真空中での使用が可能...

メーカー・取り扱い企業：株式会社美鈴工業

シールドシステム

◆シールドシステムの提供磁気シールドルーム（弱磁場、強磁場）、電磁波シールドルーム、シールドケース、アクティブシールドシステムといった様々なシールド技術でお客様のニーズにお応えします。 ◆シールドシステムには、同時にクリーンシステムを加味する事が可能です。 ◆設計、製造、施工、測定、コンサルティング業務と一貫したシールドシステム技術の導入が可能です。...◆シールドシステムの提供磁...

メーカー・取り扱い企業：有限会社藤田工業

アローズエンジニアリング株式会社　会社案内

お客様のニーズに的確に捉え、最適なサービスを提供し、躍進して参ります。

ーホール →各種ボード（PCB基板）の修理 ○付帯設備・製造 →半導体製造装置の新規設置及び移設に伴う付帯工事 →真空配管・ガス供給ラインの設計・製作・施工 →制御盤設計・製作 ○クリーンルーム →自社クリーンルームなのでスピーディな対応を実現 ○装置サポート →新規装置の立ち上げ →中古装置の立ち上げ →移設装置の立ち上げ ○製品・販売 →半導体装置向け部品（プロセス...

メーカー・取り扱い企業：アローズエンジニアリング株式会社

ガス配管製作

自動溶接作業は、クラス１０，０００相当のクリーンルームにて行っております。製品完成後は洗浄工程を通り、減圧脱気梱包を施したものを納品させて頂きます。【他に・・・】 ◆半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、ＣＶＤ装置等の成膜装...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス

高精度リニヤステージ　エアースライドステージ

300mmサイズのワークのプロセスに最適！

テージ【特徴】 ○ワーク搭載テーブルがエアベアリングを介して　石定盤で支えられており、高い移動平行度と剛性を確保 ○可動部・駆動部共に非接触　防塵効果や静粛化に貢献し、クリーンルーム内での使用も可能 ○可動部に全面浮上方式を採用　高剛性仕様が可能で、超高精度仕上げが可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウイング

6・8インチ用　ウェハソータ　W-ST-200A

座標型ロボットにて、ウェハカセット間でウェハを移載 ○カセットは抜き取り用を含む3カセット仕様 ○番号に対するスロットの指定が可能 ○OCR、アライメントのON/OFFの設定が可能 ○クリーンルーム内での使用が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウイング

次世代クリーン化技術！超音波非接触浮上・搬送装置

超音波でウェーハやガラス基板を非接触搬送！クリーンな搬送技術です！接触…

従来のソリューション、ベルヌーイチャックやエアー浮上テーブルに比べ、超音波による非接触搬送技術には数多くのメリットがあります。 ◆ 圧縮エア・コンプレッサーが不要 ◆ クリーンルームにエアーブローしません ◆ エアーブローからの汚染リスク無し ◆ 接触による異物転写リスク無し ◆ 超低エネルギー搬送技術 ◆ 超低ランニングコスト ◆ 基材へ余計な負荷をかけずに搬...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ケー・ブラッシュ商会本社