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超高効率 空気冷却・暖房システム『下げろ!デマンド君HYPER』
PRエアコンを使わず、少量の冷水で高効率冷房。除湿冷房効果も得られ、作業環…
『下げろ!デマンド君HYPER』は、井水・水道水・温泉水などを使用して、冷暖房が行える、軽量でコンパクトな空調システムです。大掛りな工事も不要で、使用する時期によって場所を移動させることも可能なキャスター付きです。 運転例として、18℃の井水を30L/minで使用した場合、空気の温度を約34℃から23.7℃へ低減することも可能です。また冬場のクーリングタワー水30℃を使用することで暖房や凍結...
メーカー・取り扱い企業: MDI株式会社
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“サセプタ不用"の高スループットSiCウェハアニール!4-8インチウェ…
【仕様】 ■4-8インチウェハに対応 ■DTC(Direct Thermocouple)で基板温度を直接測定 ■デュアルチャンバ(最大2チャンバ、2クーリングステーション、2カセット対応) ■自動3軸アライナ ■フットプリント80"×52"(203cm × 132cm) ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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