グラファイト | イプロスものづくり

PR短時間で高精度加工を実現する高速5軸ミリングマシンに省人化を実現するオ…

ドイツレダース社製の高速ミリングマシン「RXU」シリーズは全軸リニアモーター駆動+リニアガイドの仕様で経年変化なく高精度加工します。高速スピンドルを標準装備し超硬等HRC60以上の高硬度材のミリングが可能です。チャックしたまま掴み替えることなく、ミリング加工の後はジグ研削加工(オプション)、機上測定まで一連の工程が可能です。掴み換えなく1台で完成行程まで行える為、「機械設置面積の削減」「人...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ゴーショー

高温用グラファイト保護コーティング

高温腐食性雰囲気でグラファイトを保護するコーティング。SiCやGaNな…

グラファイト部品にPBN（熱分解窒化ホウ素）、PG（熱分解グラファイト）、TaC（タンタルカーバイド）などのコーティングを施した製品です。ウェハトレイ、ヒータ、歯車、チューブ、ルツボなど色々な製品、形状に対応可能です。【特長】１）高温のNH3、H2などの腐食性雰囲気でグラファイトを保護します。２）電気絶縁性、導電性両方のコーティングがあります。３）高温のMOCVD用部品を保護しま...

メーカー・取り扱い企業：モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社

グラファイトモノクロメーター『HOPG』

優れた分光能を発揮するグラファイトモノクロメーター！X線や中性子の回折…

『HOPG』は、優れたX線と中性子回折能を持ち合わせた高純度な高配向性熱分解グラファイトです。 X線回折では従来の結晶の約3～5倍、シングリーベント集光モノクロメーターは等量の分解能でフッ化リチウムの約3倍の分光能を示します。 HOPGプレートはフラット、シングルベント、ダ...

メーカー・取り扱い企業：モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社

メタルカーバイドコーティング

腐食性雰囲気の高温ウェハプロセスなどでグラファイトを保護するメタルカー…

『メタルカーバイドコーティング』は、超高温下でアンモニア、水素、塩酸、溶融金属に対して耐腐食性を有しています。 グラファイト部材にコーティングすることでパーティクルの発生を抑え、寿命を延ばす効果があります。他にも熱分解窒化ホウ素（PBN）コーティングや熱分解黒鉛（PG）コーティング等も行っています。【...

メーカー・取り扱い企業：モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社

真空装置や半導体製造装置に使用する部品の高温真空熱処理

真空装置、半導体製造装置に使用する部品を真空中で高温処理します。プロセ…

クリーンルーム中で真空チャンバを使いグラファイト、セラミックス、メタル部品などの脱ガス処理を行います。表面に付着したガスだけではなく、内部に浸透した水分なども除去できます。【用途】 ■真空装置、半導体製造用部品などの脱ガス ■グラ...

メーカー・取り扱い企業：モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社

サーマルレベラー（温度分布改善技術）

熱伝導率1500W/mKの熱伝導グラファイトTPGを使用した温度分布改…

熱伝導率1500W/mKの熱伝導グラファイトとメタライズ技術を使用して様々な部品の温度分布を改善します。ヒートスポットによる問題を解決し、部品の寿命を延ばします。【用途】 ■ヒータの温度分布と寿命の改善 ■ヒータの薄型、軽...

メーカー・取り扱い企業：モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社

半導体製造用高温ヒータ、静電チャックおよび耐熱衝撃セラミックス

シリコン半導体・SiCおよびGaN製パワー半導体製造プロセスに対応。高…

N）やタンタルカーバイドは高い耐熱性や耐腐食性を有し、急速昇降温・超高温を容易に実現できるセラミックスです。 PBNは色々な形状に蒸着製造または加工が可能。超高温ヒータや高温静電チャック、グラファイト保護コーティングもございます。 PBN機能部品は有機ELの製造プロセス、半導体単結晶成長プロセス、その他の高温真空プロセスなどの改善に貢献します。【特長】 ■12インチウェハ（300mm...

メーカー・取り扱い企業：モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社

GaN半導体 MOCVD用機能部品

高温アンモニアに耐性があり、容易に高温が得られる機能部品、高温用ヒータ…

Momentiveの『超高温用ヒータ』、『窒化ホウ素製品群』および『グラファイト保護コーティング』は、高温の腐食性ガス雰囲気に耐性があり、窒化物単結晶成長やエピタキシャル装置の機能部品として多くの実績を有しております。 ■超高温ヒータ・超高温（1500℃以上）での...

メーカー・取り扱い企業：モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社

1000w/m-K超の高熱伝導製品で、高効率化の問題解決！

厳しい条件下での放熱や高発熱部のヒートスポットの解消に対応できる高熱伝…

当社は、高配向性グラファイトTPGと封止/メタライズ技術による高熱伝導製品群を開発いたしました。電子基板、LED/LDや半導体チップ、金型などの放熱/冷却、高性能ヒートシンク、医療機器、サーマルストラップ、高性能ヒート...

メーカー・取り扱い企業：モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社

メタライズ用蒸着源。高温セラミックス『PBNエバポレーター』

PBNセラミックスとグラファイトのコンビネーションによる蒸着源。アルミ…

『PBN』は高い電気抵抗と優れた熱伝導性を合わせ持つ異方性の高温セラミックスです。毒性がなく、非多孔性のPBNは熱CVDプロセスで製造されており、非常に純度の高いものとなっています。メタライズプロセスの蒸着源として使用されています。【特徴】 ●高純度で長寿命 ●非常に少ないアウトガス ●既存セラミックス製エバポレーターとの置き換えが容易 ●アルミニュウム蒸着膜の品質と厚みの安定...

メーカー・取り扱い企業：モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社

タンタルカーバイドコーティング

SiC半導体や窒化物半導体製造の高温ウェハプロセスで裏面パーティクルを…

『タンタルカーバイドコーティング』は、超高温下でアンモニア、水素、塩酸、溶融金属に対して耐腐食性を有しています。 グラファイト部材にコーティングすることでパーティクルの発生を抑え、寿命を延ばす効果があります。他にも熱分解窒化ホウ素（PBN）コーティングや熱分解黒鉛（PG）コーティング等も行っています。【...

メーカー・取り扱い企業：モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社