サーモ | イプロスものづくり

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池やバッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や表面保護のためのコーティングにも対応。サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

トリミングマシン『AD-CS600シリーズ』

PRフルカット・ハーフカット両方に対応した高精度トムソン（ビク）打抜き機

トリミングマシン『AD-CS600シリーズ』は、ワンショット（1回抜き）と多段（順送打抜き）両用の耐久性に優れたハイパワーモデルです。トムソン型・ピナクル型どちらも全機種対応。幅広いサイズや厚みに対応できる製品をラインアップしております。材料・型を持ち込んでいただき、デモ機で試し抜きをすることも可能です。【特長】 ■タッチパネルで送り移動量・ドブを設定でき、パターン登録は...

メーカー・取り扱い企業：株式会社若宮エンジニアリング

オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池やバッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や表面保護のためのコーティングにも対応。サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

プラズマダイシング装置『MDS-100/MDS-300』

複数サイズのウェハに対応！誘導結合プラズマを使用したBosch法による…

『MDS-100/MDS-300』は、誘導結合方式を用いることで、高出力プラズマによる安定性、均一性に優れた25枚連続処理が可能なプラズマダイシング装置です。高い均一性を保ちながら、ソーやレーザのようなウェハへのダメージを発生させずに処理を行うことが可能。高速ガス切り替えシステムを用いたBosch法によって、優れた側壁形状および自由な形状での加工を実現し、既存の手法と比...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

卓上タイプエッチング・成膜装置『Plasma POD シリーズ』

教育機関や小規模施設などに！タッチパネルで簡単操作が可能な卓上型システ…

『Plasma POD シリーズ』は、小型でコンパクトな卓上タイプエッチング・成膜装置です。設置スペースに限りがあり、低コストでエッチング・成膜装置の導入をご検討されている方にお勧め。ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。【特長】 ■装置最大サイズ 80cmx80cmx80cm(高さ） ■タッチパネルで簡単操作 ※英語版カタログをダウンロードいただけま...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

半導体故障解析用プラズマ・エッチング装置

ICの絶縁層を除去！フットプリントが小さく、費用対効果の高いシステム

当社では、半導体故障解析用プラズマ・エッチング装置を取り扱っております。電気的な特性を維持するために金属層を侵食させない、マルチレベルのデプロセッシングから、金属エッチングを含む、高い選択比で損傷のないプロセスまで、RIE、ICP-RIE FAソリューションは、最大200 mmまでのダイ、パッケージダイおよびウェハーのサンプルでご使用可能。ご用命の際は、お気軽にお問...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

光化合物半導体　プラズマ加工装置

長年の経験と蓄積された加工ノウハウ！化合物半導体加工向けに1300台以…

「プラズマ加工装置」は、光化合物半導体のプラズマ・エッチング・成膜装置です。研究・開発から量産とシーンに適したシステムの提供が可能。また、光電子デバイス製造に必要な幅広い材料を扱うように設計されています。ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。【用　　　途】 VCSEL、LED、μLED、Micro Lens、Wave Guide 【エッチング】サファイア、...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

イオンビームエッチング・成膜装置『QuaZar(TM)』

高いスループットを実現！大面積イオンソースと高度なモーションコントロー…

当社のイオンビームエッチング・成膜装置『QuaZar(TM)』をご紹介いたします。大面積イオンソースと高度なモーションコントロールにより、高いスループットを実現。特にMarathon(TM)グリッドは、従来の方式に比べ、長期に渡り良好な均一性を得ることが出来ます。【仕様】 ■イオンビームシステム ■プロセス温度：-40℃～+60℃ ■傾斜角：+90度～-8...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

プラズマベースの原子層エッチング装置『Takachi ALE』

表面の単原子層のエッチング！エッチング対象物へのダメージを抑える事が出…

当社が取り扱うプラズマベースの原子層エッチング装置『Takachi ALE』をご紹介します。 Takachiシステムは、ALEキットを搭載することにより、 ALEプロセスが可能です。表面の単原子層毎にエッチングしていく為、エッチング対象物へのダメージを抑える事が出来ます。【特長】 ■ALEキットを搭載、ALEプロセスが可能 ■表面の単原子層毎にエッチング ■エ...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応しコンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCのグ...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

イオンビーム　エッチング・成膜装置『QuaZar』

総保有コストを減少させる事が可能！最高クラスの均一性とスループットを実…

『QuaZar』は、大面積イオンソースと高度なモーションコントロールにより、難しいエッチングプロセスや薄膜形成アプリケーションにおいて、プロセス結果を実現できるエッチング・成膜装置です。当製品のMarathon grids技術は、重要な要素となっており、現在お使いの既存のシステムに設置する事も可能。世界の多くのお客様が、grid技術で既存装置の性能を向上させ、寿命を ...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

成膜 ⇔ エッチング装置『210D』

簡単なハードウエハ交換で、CVD及びRIEとして使用可。ご要望に応じて…

『210D』は、エッチング及び成膜を必要とする様々な製品の開発にお使いいただける、誘導結合プラズマによる成膜装置です。十数分の時間でハードウエアを交換し、誘導結合プラズマエッチング装置として使用する事が可能。現場でのハードウエアの交換で、CVD及びRIEとして使用できる為、導入コストを抑える事が出来ます。【特長】 ■簡単なハードウエハ交換で、CVD及びRIEと...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

活性化アニール炉『VF-3000H』

R&D～量産まで使用可能！3～6インチウェーハ対応の自動搬送搭載縦型炉

『VF-3000H』は、超高温処理が可能で、パワーデバイス製造に適した活性化アニール炉です。ミニバッチ、50枚の処理が可能で、3インチ～6インチまで幅広いウェーハサイズに対応します。ハードウェアと制御システムの内容を厳選し、R&D用途から量産ラインにまでお使いいただけます。また、活性化後の炭化除去も可能な「VF-5100」もご用意しております。【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業：光洋サーモシステム株式会社営業管理部

コンタクトアニール用ランプアニール装置『RLA-3100-V』

GaN基板の処理も可能！コンタクトアニール用ランプアニール(RTP)装…

『RLA-3100-V』は、6インチまでの幅広いウェーハサイズに対応可能なコンタクトアニール用ランプアニール(RTP)装置です。耐真空設計された石英チューブの採用でクリーンな真空(LP)環境、 N2ロードロック雰囲気での処理が可能です。また、自動ウェーハ載せ替え機構を装備し、C to C搬送を実現します。【特長】 ■～6インチまでの幅広いウェーハサイズに対応 ■自...

メーカー・取り扱い企業：光洋サーモシステム株式会社営業管理部

Φ３００ｍｍ対応縦型拡散炉

Φ３００ｍｍに対応した縦型の拡散炉です。【特長】 ◆オペレータフレンドリーな自社開発新型コントローラ搭載 ◆無駄のない全自動搬送システム ◆高機能制御システム ◆高性能ＬＧＯヒータ搭載...Φ３００ｍｍに対応した縦型の拡散炉です。【特長】 ◆オペレータフレンドリーな自社開発新型コントローラ搭載 ◆無駄のない全自動搬送システム ◆高機能制御システム ◆高性能ＬＧＯヒー...

メーカー・取り扱い企業：光洋サーモシステム株式会社営業管理部

分極装置（実験用）

圧電素子の分極を行う為の実験用分極装置をご紹介！

『分極装置（実験用）』は、圧電素子の分極を行う為の装置です。シリコンオイル中にてデバイスに高電圧を印加し、分極を行います。また、シリコンオイルは付属のサーモメイトにて加熱します。【特長】 ■シリコンオイル中にてデバイスに高電圧を印加し、分極を行う ■シリコンオイルは付属のサーモメイトにて加熱 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お...

メーカー・取り扱い企業：リードテクノ株式会社

ディスプレイモニタ代替品カタログ-4

半導体製造装置、産業機器、液晶製造装置、その他制御装置などに使用されているモニタの置き換えに最適です。○対応装置メーカ：日立国際電気,光洋サーモシステム,大倉電気,ウシオ電機,大日本スクリーン製造,ワイエイシイ,日立国際電気,KEM,大倉電気,日本エー・エス・エム,東京エレクトロン,東芝,東京エレクトロン,東京応化工業　○対応モニターメー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイブル

鉛フリーディップ（フロー）槽リアルタイム計測

●ディップ（フロー）槽専用計測ソフトを使い、温度プロファイルをリアルタイムでカラー表示できるプロファイルアナライザーです。 ●測定開始と同時にデータ送信機から無線でデータを送信し、受信機が受信したデータで温度プロファイルを描き始め、一定時間がすぎますと終了します。 ●その間、温度変化をパソコン画面でモニタリングでき、また温度データはパソコンに全て取り込まれているので、データの再生、プリントアウ...

メーカー・取り扱い企業：マイクロコム株式会社

リフロー炉リアルタイム計測

リフロー炉をはじめ、高温炉内の温度プロファイルをリアルタイムでパソコン…

●リフロー炉をはじめ、高温炉内の温度プロファイルをリアルタイムでカラー表示できるプロファイルアナライザーです。 ●測定開始と同時にデータ送信機から無線でデータを送信し、受信機が受信したデータで温度プロファイルを描き始め、一定時間がすぎますと終了します。 ●その間、温度変化をパソコン画面でモニタリングでき、また温度データはパソコンに全て取り込まれているので、データの再生、プリントアウトが自由自在...

メーカー・取り扱い企業：マイクロコム株式会社

ヒューズテクノネット　透明導電膜加湿ユニット

H2Ｏを加温気化し、マスフローコントローラーで流量制御し、エッチング装…

○タンク制御温度・・・・・・・・60～65℃（センサーPT100Ω） ○配管制御温度・・・・・・・・・70～75℃（センサーPT100Ω） ○タンク・配管温度異常・・・・110℃（センサーサーモスイッチ） ○Ｈ2Ｏタンク水位検知用に、H・Mレベルの2つの光学式液面センサーがあります ●その他機能や詳細については、お問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヒューズテクノネット

成膜装置『Corial 200 Series』

用途に応じてコンフィギュレーションする事ができるプラズマエッチング・成…

当社の『Corial 200 Series』をご紹介いたします。共通プラットフォームを用い、用途に応じてRIE,ICP,ICP+RIE, ICP-CVD又は、PECVDとしてコンフィギュレーションする事ができる研究開発向け装置。ウエハサイズは50mm,100mm,150mm,200mmです。【特長】 ■共通プラットフォームを用いる ■RIE,ICP,ICP+RIE...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社