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PRノイズキャンセル機能で騒音環境下にも対応。検出が困難な水素など、様々な…
気体漏れ検知カメラ『Si2-Pro』『Si2-LD』は、圧縮空気・ガスの漏れを 正確に検出できるハンディ型の産業用音響カメラです。 検出が非常に難しい水素にも対応しており、稼働中に様々な気体の漏れを可視化することができます。 漏れの早期発見によって、エア・ガスのロスが抑えられトータルコストの削減に貢献します。 【特長】 ■リアルタイムで損失コストをシミュレーションし、対応判断をサポート ■ノイ...
メーカー・取り扱い企業: フリアーシステムズジャパン株式会社
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PR検出部と信号処理部を簡素化し小型化を実現!過負荷に強いので扱いが簡単!
『スマートフォースセンサ』は、金属ばね製造技術と電子制御技術を 融合させた静電容量型の荷重変位センサです。 非常にコンパクトで、既存のロードセルのように大掛かりな付帯機器が不要。 検出部と信号処理部を簡素化し、小型化を実現しました。 また、オプションのUSBケーブルを使用するとPC上で簡単に 出力を確認できます。 【特長】 ■静電容量型 ■アンプ不要 ■過負荷に強いの...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アキュレイトシステムズ 伊那事業所
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ランプ加熱式の為にRTP、RTCVD処理可能!クオーツ製チューブ型チャ…
『MC-050』は、最大50mm径基板対応のDLI-CVD/DLI-ALD装置です。 最大成膜温度は1100℃(ランプ加熱方式)で、最大6×DLI気化器を搭載可能。 また、マスフローコントローラーは最大8、ターボポンプ搭載可能です。 ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【特長】 ■最大50mm径基板対応 ■最大成膜温度:1100℃(ランプ加熱方式) ■最大6x ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイテック・システムズ
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ターボポンプ搭載可能!低温(1100℃)/高温(1300℃)パイロメー…
『AS-Master 200』は、アニール処理後急速冷却機構のRTP装置です。 最大200mm径基板対応(基板上部ランプ加熱式)しており、 真空又は大気搬送装置及びロードロック搭載可能。 また、大気・真空下プロセスに対応しており、ターボポンプ搭載可能。 ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【特長】 ■最大200mm径基板対応(基板上部ランプ加熱式) ■低温(11...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイテック・システムズ
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アニール処理後急速冷却機構!Annealsys社の高速熱処理装置をご紹…
『AS-One 100/150』は、大気・真空下プロセス対応のRTP装置です。 ターボポンプを搭載可能で、マスフローコントローラーは最大5と なっております。 ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【特長】 ■アニール処理後急速冷却機構 ■大気・真空下プロセス対応 ■ターボポンプ搭載可能 ■マスフローコントローラー:最大5 ※詳しくはPDF資料をご覧いただ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイテック・システムズ
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最大156mm×156mm基板対応!真空又は大気搬送装置及びロードロッ…
『AS-Premium』は、大気・真空下プロセスに対応しているRTP装置です。 アニール処理後急速冷却機構(上部ランプ加熱式のみ)で、 低温(1100℃)/高温(1300℃)パイロメーターとなっております。 ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【特長】 ■最大156mm×156mm基板対応 ■低温(1100℃)/高温(1300℃)パイロメーター ■アニール処理後...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイテック・システムズ
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