【基礎知識】防爆仕様の撹拌脱泡機

PR防爆仕様の撹拌脱泡機なら共立精機にお任せください！

撹拌・脱泡を行う環境に可燃性ガスや可燃性液体の蒸気が発生するような ことはないでしょうか？ 共立精機は撹拌脱泡機『Hi-Merger(ハイマージャ)』のメーカーです。 お客様のニーズに応じて撹拌脱泡機の防爆仕様に対応できます。 可燃性ガスや可燃性液体の蒸気が存在する場所、もしくは存在する恐れが ある場所で使用する場合の安全性向上のため、防爆構造が必要です。 ぜひご覧ください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 共立精機株式会社

1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機

PRシングルチャンバーで各種洗浄からスピン乾燥まで完結。省スペース設計で研…

『1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機』は、 高圧スプレーや超音波スプレー、薬液等の非接触洗浄、 ブラシ等の接触洗浄など、様々な組み合わせが可能な洗浄機です。 1つのチャンバーで洗浄からスピン乾燥まで完結し、 省スペース設計のため、設置スペースとコストの削減に貢献します。 各種装置構成、薬液構成、目的とする洗浄性能やご予算など、 ニーズに応じて最適な装置構成をご提案可能です...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

【高耐食性Y2O3/YOF膜事例】エッチング装置部品の保護膜に

溶射やエアロゾルデポジションによる保護膜より遥かに耐食性・耐プラズマ性…

ます。半導体製造競争は歩留まりと装置の稼働時間が大きなカギを握っています。エッチング装置部品の保護膜は、溶射やエアロゾルデポジションによる酸化イットリウム膜が使われていましたが、エッチング装置は、シリコンウエーハにエッチングしますが、同時に装置内もエッチングされるため、発生するパーティクルが製造歩留上の問題となり、先端プロセスでは使えなくなってきています。 イオンアシスト蒸着法による酸化イットリ...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー