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  • 熱応答性・柔軟性に優れた薄型発熱体『シリコンラバーヒーター』 製品画像

    熱応答性・柔軟性に優れた薄型発熱体『シリコンラバーヒーター』

    PR【1枚から製作可能】柔軟性があるので軽量化、小型化が実現！さまざまな形…

    オーエムヒーターが取り扱う標準タイプの「シリコンラバーヒーター」を ご紹介します。 丸型、三角、台形、穴あきなど複雑な形状も、手ごろな価格で1枚から 製作でき短納期にも対応。 ヒーター厚はわずか1.5mmなので熱応答性に大変優れています。 今までの金属ヒーターに代わる柔軟性のある薄形の面状発熱体です。 【特長】 ■複雑な形状も、手ごろな価格で1枚から製作でき短納期にも対応...

    メーカー・取り扱い企業： オーエムヒーター株式会社

  • 1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機 製品画像

    1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機

    PRシングルチャンバーで各種洗浄からスピン乾燥まで完結。省スペース設計で研…

    『1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機』は、 高圧スプレーや超音波スプレー、薬液等の非接触洗浄、 ブラシ等の接触洗浄など、様々な組み合わせが可能な洗浄機です。 1つのチャンバーで洗浄からスピン乾燥まで完結し、 省スペース設計のため、設置スペースとコストの削減に貢献します。 各種装置構成、薬液構成、目的とする洗浄性能やご予算など、 ニーズに応じて最適な装置構成をご提案可能です...

    メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

  • リンク式ダブルアームクリーンロボット『SR2160-310』 製品画像

    リンク式ダブルアームクリーンロボット『SR2160-310』

    下側の反転軸には濡れたウェハの真空吸着が可能！ダブルアームクリーンロボ…

    90度/1.2sec 　・分解能：0.11250度 ■マッピング 　・動作範囲：70mm 　・搬送速度：70mm/1.2sec 　・分解能：13μm ■被搬送物：2、3、4、6インチ　シリコンウェハ ■繰返し精度：±0.1mm 以内 ■クリーン度：ISO　クラス2 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

    メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

  • 防水対応ダブルアームクリーンロボット『WR2154-300』 製品画像

    防水対応ダブルアームクリーンロボット『WR2154-300』

    テフロンコーティングで高剛性アーム仕様！ハンド部に透過式マッピングセン…

    度：180度/0.9sec 　・分解能：0.00359度 ■上下 　・動作範囲：300mm 　・搬送速度：300mm/1.0sec 　・分解能：5μm ■被搬送物：6、8、12インチ　シリコンウェハ ■繰返し精度：±0.1mm 以内 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

    メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

  • 卓上型アライナー『AA2568』 製品画像

    卓上型アライナー『AA2568』

    2相ステッピングモータを使用！5、6、8インチシリコンウェハ対応アライ…

    【仕様】 ■被搬送物：5、6、8インチ　シリコンウェハ ■位置決め精度 　・センタリング：±0.1mm以内 　・ノッチ：±0.15度以内 ■位置決め時間：6秒以内 ■クリーン度：ISO クラス2 ■供給源 　・電源　DC24V 3...

    メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

  • リンク式シングルアームクリーンロボット『SR1160-310』 製品画像

    リンク式シングルアームクリーンロボット『SR1160-310』

    全軸2Pステッピングモータ仕様！リンク式シングルアームクリーンロボット

    　・動作範囲：306mm 　・搬送速度：306mm/1.2sec 　・分解能：5μm ■ロータリ 　・動作範囲：180度 　・搬送速度：180度/1.2sec ■被搬送物：12インチ　シリコンウェハ ■繰返し精度：±0.1mm 以内 ■クリーン度：ISO　クラス2 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

    メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

  • リンク式シングルアームクリーンロボット『PR1111-200』 製品画像

    リンク式シングルアームクリーンロボット『PR1111-200』

    ハンドはステッピングモータ駆動で180度反転可能！リンク式クリーンロボ…

    ：200mm/0.8sec 　・分解能：5μm ■ハンド反転 　・動作範囲：180度 　・搬送速度：180度/1.2sec 　・分解能：0.05625度 ■被搬送物：5、6、8インチ　シリコンウェハ ■繰返し精度：±0.1mm 以内 ■クリーン度：ISO　クラス2 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

    メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

  • リンク式ダブルアームクリーンロボット『PR2111-60』 製品画像

    リンク式ダブルアームクリーンロボット『PR2111-60』

    板金比率を高め構造を単純化することで製造コスト削減！リンク式クリーンロ…

    　・搬送速度：180度/0.6sec 　・分解能：0.00556度 ■上下 　・動作範囲：60mm 　・搬送速度：60mm/0.5sec 　・分解能：5μm ■被搬送物：8インチ　シリコンウェハ無処理品 ■繰返し精度：±0.1mm 以内 ■クリーン度：ISO　クラス2 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

    メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

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