ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）　SST/SSXシリーズ

PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…

◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

高耐熱シリコン両面粘着シート『TACSIL F20』

PRサンプルプレゼント！260℃までＯＫ！500回以上繰り返して使える高耐…

『TACSIL F20』は、リフロー工程で500回以上繰返し使用しても 均一な粘着力を維持する両面テープ。 対応温度範囲は－73℃～260℃で、安定性に優れているのが特長です。 特にFPCや薄い基板の実装工程で実績多数。 基板が動いたり、カールするのを抑制します。 サンプルを無料プレゼント中！ お問い合わせよりお気軽にお申込みください。 【特長】 ■粘着強度にバリエーシ...

メーカー・取り扱い企業： イーグローバレッジ株式会社 ＭＩ本部

結晶欠陥検出装置 ラマン測定装置・歪シリコン測定装置

高性能顕微サンプル室を装備しており,高精度ラマン分光測定を実現

ラマン測定装置とは、物質に光を照射した際に、物質の散乱光に入射光とは異なる波長の光（ラマン錯乱:RamanScattering）を測定し、その分光情報を基に結晶化の程度や結晶格子の歪み、シリコン基板の応力測定を、顕微サンプル室を標準装備することで高精度な測定を実現しています。高性能顕微サンプル室を装備しており高精度測定を実現。波数分解能、空間分解能、短波長励起ラマン、高波長励起ラマン、低...

メーカー・取り扱い企業： 西華デジタルイメージ株式会社

顕微EL/PLイメージング装置　PVX1000+POPLI-μ

太陽電池セル製造工程中のWaferの微細な構造を顕微PL観測

製品特長 １．シリコンウェハ（6インチ角以下） ２．超高感度冷却CCDカメラ（100万画素、－70℃） ３．平面レーザー光源により視野内の一括イメージング測定が可能 ４．高機能画像演算ソフト搭載 ５．専用の高遮...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

ウエーハ外観検査装置 Wafer Inspection

貴社検査工程の標準化・自動化にお役立て下さい！

（外観検査対象　具体例） 　シリコン・化合物ウエーハ、サファイア・石英ガラス等の各種基板 （検査項目　具体例） □　マイクロクラック（表裏面・エッジ） □　チッピング、スクラッチ、ピット等の傷 □　異物・パターンずれ　等...

メーカー・取り扱い企業： 大日商事株式会社

不良判定用CG生成（機械学習向け教師画像）

線傷、打痕、割れ（クラック）など、教師データに活用可能な不良画像を生成…

をつける素材は自由に設定することができます。例えば、セラミック、金属のヘアライン仕上げ / サテン仕上げなど、テクスチャーの差し替えにより、あらゆる素材に対応します。テクスチャーと形状作成により、シリコンウエハーのような複雑な素材にも対応することもできます。 ● 傷の種類・付け方は自由自在 パラメーターを自由に設定することで、大きさ、長さ、深さ、位置、角度など、あらゆる傷の形状を生成します...

メーカー・取り扱い企業： シリコンスタジオ株式会社

MEMS/TSV用赤外透過　微細ヴィア・トレンチ検査装置

MEMS素子検査装置（メムス　微細穴深さ計測、パターン検査）

○画像オートフォーカス ○欠陥検出ソフトウェア(ＯＫ,ＮＧ判断機能付き) ○ティーチングプレイバック動作 →一度教えたステージ動作を繰り返し動作 ○赤外線カメラを使用しており、赤外光がシリコンを透過する原理を利用 →非破壊検査が可能 ●詳しくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： ディスク・テック株式会社 本社

事業案内　検査事例の紹介「太陽電池」

トレンド・センシング技術によって、エンボス加工の影響を受けずに検査可能…

【特徴】 ◯薄膜・結晶シリコン素材はもちろん各種パネルの検査 ◯セル、モジュール、アレイなど各種工程での検査 ◯太陽電池のカバーガラスや、ITO成膜ガラスなども検査可能 ◯トレンド・センシング技術によって、エンボス加工の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノス

顕微EL/PLイメージング装置　PVX1000+POPLI-μ

太陽電池セル製造工程中のWaferの微細な構造を顕微PL観測

製品特長 １．シリコンウェハ（6インチ角以下） ２．超高感度冷却CCDカメラ（100万画素、－70℃） ３．平面レーザー光源により視野内の一括イメージング測定が可能 ４．高機能画像演算ソフト搭載 ５．専用の高遮...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス