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小物用搬送コンベアでお困りの方、必見!ステンレスベルトの利点とは
PR樹脂ベルト・ゴムベルトの代替に!薄肉ステンレス製の「スチールベルト」を…
【こんなお困り事ございませんか?】 ■移送時のベルトコンベアの振動が激しい… ■丸ごとベルトを洗浄して手間を省きたい… ■加熱搬送したい… ■樹脂の繊維やゴムの欠片による異物混入を防ぎたい… ■工場ラインに合わせたサイズ巾のベルトがない… など フジ精工が製作する金属の薄肉ステンレスを使用した『超薄肉スチールベルト』は、丸洗いが可能で熱や汚れの付着に強いベルトです。 樹脂やゴムベ...
メーカー・取り扱い企業: フジ精工株式会社
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RCAは勿論、現像、エッチング、洗浄、剥離、リフトオフなど!各種プロセ…
当装置は、薬液の完全分離・再利用を達成し、薬液処理⇒リンス⇒乾燥の フルプロセスをワンスピン処理可能なマニュアルSpin枚葉処理装置です。 フットプリントやコストの大幅な削減ができ、《特許取得成立済み》 丸形状の基板は勿論、角形状基板にも対応可能。 「RCA」は勿論、「現像」「エッチング」「洗浄」「剥離」「リフトオフ」 と言った各種プロセス処理に対応実績多数です。 【特長】...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ソフエンジニアリング
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高品質基板を高スループット 且つ 低コストで提供可能!
■エッチングや洗浄プロセスに最適です。 ■薬液処理はスピン方式で、リンス乾燥はコンベアー方式 ■W-レーンで更なる高スループット対応した実績有り。 ■エッチング時の危険な腐食性ガス対策 ◎スピンチャンバー部に前後シャッターやローラーを具備 ■薬液の温調循環再利用機能や排水の濃厚/希薄分離機能を有します。 ■リンス時のスィングスプレー機能も搭載可能 ■リンス水飛沫の再付着防止を考慮し...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ソフエンジニアリング
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《新型》スピンスクラブ自動洗浄装置 (CMP後・研磨後洗浄)
量産現場向け 高信頼性自動スクラブ洗浄装置
■「CMP後や研磨後洗浄」「受け入れ洗浄」「Final洗浄」としての量産現場に最適 ■マスクのコンタクト露光時に付着した「レジスト除去」にも対応可能 ■2-チャンバー構成で1.8分/枚にも対応実績有り ■「反転機能」「ブラシ押込み量設定機能」「CO2イオナイザー」等のオプション対応が可能 ■ベベル部汚れには「高圧Jet」「DIW2流体」で対応 ■裏面コンタミフリーを基本コンセプト ◎...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ソフエンジニアリング
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高スループット 高信頼性 低コストなバッチ式処理装置
■カセットタイプのバッチ式処理装置です。 ■APM/MS、SPM、HPM、DHF等のRCAプロセスに対応したバッチ処理に最適 ■有機剥離やPoly-Si再生等の基板再生処理にも対応します。 ■MEMS等異方性エッチにも対応実績有り ■300mmまで実績がございます。 ■S/DやIPA蒸気乾燥、温水引き上げ乾燥の各種乾燥ユニットに対応 ◎IPA蒸気乾燥では、ウォータマーク抑制機能を搭載...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ソフエンジニアリング
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