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シリコン半導体の工程等、クリーンなプロセスに!メタルフリータイプ
メタルフリータイプは、金属を極限まで排除し、より高次の清浄性を!シリコ…
タイプに比べ、金属元素を使用しない 設計のため、金属汚染が気になるお客様でも安心してお使い頂ける製品です。 表面のインジケータ膜は有機系の材料のみを利用しており、 基板には標準規格のシリコンウエハを使用。半導体前工程での利用を想定し クリーンなプロセスで利用できるよう設計しています。 【特長】 ■金属元素を使用しない設計 ■表面のインジケータ膜は有機系の材料のみを利用 ■...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社サクラクレパス PI事業部
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プラズマの処理強度や処理時間に応じて連続的に変色しますので、プラズマ処…
プラズマ処理効果の評価ツールとして、2014年の発売以来、 お客様の用途に応じてラインアップを拡充してきた「PLAZMARK(R)」。 このたびご要望の多かったウエハプロセス向け製品の第1弾として 『PLAZMARK(R) "ウエハ型" セラミックタイプ』が登場! 電子デバイスのエッチングやアッシングなど、 ウエハプロセスの面内分布等の評価にご利用いただけます。 【特長】 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社サクラクレパス PI事業部
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