マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－１２インチ

φ300ｍｍサイズに対応する大面積試料ステージを搭載。

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－１２インチはマグネトロンターゲット電極で、φ300ｍｍサイズに対応する大面積試料ステージを搭載。膜厚ムラは10%以内、ステージ全域を有効に使えます。コーティング電圧500V以下で、イオン衝撃によるダメージを軽減。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...【主な特徴】 ○マグネトロンターゲット電極で、φ300ｍｍサイズに対応する大面積試料ステージを搭...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－８インチ

8インチウェーハに対応する大面積試料ステージを搭載。

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－８インチはマグネトロンターゲット電極で、8インチウェーハに対応する大面積試料ステージを搭載。コーティング厚さのムラは10%以内、ステージ全域を有効に使えます。コーティング電圧500V以下で、イオン衝撃によるダメージを軽減。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...【主な特徴】 ○マグネトロンターゲット電極で、8インチウェーハに対応する大面積試料ステ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス