真空シール『ホローシャフトフェローシール』

カートリッジ機構採用！既存のシャフトに合体することができる真空シール

株式会社フェローテックでは、あらゆる真空加工装置に対応する 高品質なシールをご提供しています。 『ホローシャフトフェローシール』は、カートリッジ機構であり 既存のシャフトに合体することができます。 スルーホールタイプ、フランジタイプ、カンチレバータイプ（活性ガス対応）が 設定してあります。 その他オプションとして、シャフト固定用クランプのないタイプも ご用意しております。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フェローテックホールディングス

磁性流体防塵シール『Exclusion Seal』

半導体・液晶・クリーン環境用に最適！完璧なシール効果の磁性流体防塵シー…

『Exclusion Seal』の基本原理は、磁気回路を形成するためのユニットとして、 永久磁石、N極とS極、2つの磁極のためのボールピースからなっており、 この磁気回路ユニットに磁性シャフトを通すことによって、 磁束がシャフトとボールピースのラジアルギャップに集中し、 そのギャップ部に磁性流体を充填すると液状のOリングシールが形成されます。 この技術を応用して現在ではOA、FA機器...

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真空シール『ソリッドシャフトフェローシール』

幅広い用途に応じて機種を設定！あらゆる真空加工装置に対応する高品質なシ…

株式会社フェローテックでは、あらゆる真空加工装置に対応する 高品質なシールをご提供しています。 『ソリッドシャフトフェローシール』には、ミニチュアタイプ、 スルーホールタイプ、フランジ付タイプ、ヘビーデューティタイプと、 幅広い用途に応じて機種が設定してあります。 シャフトの動力接続端部とプロセス端部の形状は小径の物を除き、 キー溝機構を標準品として定めており、その他オプションとし...

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真空シール『マルチプロセスフェローシール』

真空環境でのウェハー搬送ロボットに対応した多軸機構のフェローシール

『マルチプロセスフェローシール』は、現在のさまざまな半導体プロセスにおける 真空環境でのウェハー搬送ロボットに対応した多軸機構と同時に リニアモーション対応もご用意できます。 更には10⁻⁶Paの超高真空プロセスにも対応可能な製品もご用意しております。 【特長】 [同軸2軸タイプ] ■高い振れ、回転精度を実現する小型軽量のコンパクトタイプ [3軸タイプ] ■高い振れ、回転精...

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フェローシール　お問合せシート

フェローシールをご検討の際に本シートをご使用ください

あらゆる真空加工装置に対応する「フェローシール」のお問合せシートです。 フェローシールをご検討の際に本シートをご使用ください。 【確認項目概要】 ■雰囲気 ■真空度 ■許容ヘリウムリーク量 ■耐差圧値（圧力差） ■雰囲気温度　など 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...【確認項目】 ■雰囲気 ■真空度 ■許容ヘリウムリーク量 ■耐差圧値...

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受託加工

精密金属加工技術や装置生産技術によりお客様のニーズにお応えします

フェローテックでは、真空シールや結晶装置で培った精密金属加工技術や 装置生産技術によりお客様のニーズにお応えします。 各種金属加工、電気炉製造や真空装置の組み立てなどエレクトロニクス業界 のほか、他の業界からのご要望も幅広く承ります。 当社グループでは、10数年の実績があり、どんな加工、装置でも受託生産 致します。 【受託加工例】 ■金属加工 ■電気炉製造 ■真空装置...

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【技術資料】Oリング及び付属品テーブル

あらゆる真空加工装置に対応する「フェローシール」の技術資料です。

技術資料『Oリング及び付属品テーブル』は、 あらゆる真空加工装置に対応する「フェローシール」の技術資料です。 フェローシールのモデルナンバーに対応する、付属品の情報を 一覧で掲載しています。 【掲載付属品】 ■ハウジング・フランジ端面 ■溝内径 ■溝巾 ■溝深 ■ナット対面巾　ほか 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...【その他の掲載付属品...

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【技術資料】許容荷重及び寿命計算用データ

あらゆる真空加工装置に対応する「フェローシール」の技術資料です。

『許容荷重及び寿命計算用データ』は、あらゆる真空加工装置に対応する 「フェローシール」の技術資料です。 フェローシールの軸受け定格疲れ寿命を計算するための計算式やデータを 掲載しています。 【掲載データ】 ■ベアリング負荷容量 ■ベアリング間距離 ■ベアリング位置からハウジング端面までの距離 ■荷重位置　など 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

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