ALIO Industries　ヘキサポッド ステージ

PRALIO社が±30°の傾き可能なハイブリッドヘキサポッド！360°回転…

ALIO Industries社のパテントテクノロジー。 パラレルキネマティックの自由度とシリアルキネマティックの精度・剛性を融合した新しいタイプのヘキサポッド "Hybrid Hexapod"。 その大きな特徴は長ストロークのヘキサポッドながら、スタンダードでも、±80nmの繰り返し精度を達成している点にあります。 従来のシステムに対して、コンパクト・高剛性・長ストローク・高精度という、大...

メーカー・取り扱い企業： オーテックス株式会社

高圧ポンプユニット　KPWシリーズ（組込用）

PRエア圧調整器、エア圧力計、吐出圧力計などが一体となった設計で装置組み込…

『KPWシリーズ』は、高圧ポンプに基本的に必要となる周辺機器をセットにして、専用量産装置以外の用途で利用しやすいように整えたユニットです。 エア駆動式プランジャーポンプ内蔵の高圧水発生ユニットでエア圧調整器､エア圧力計､吐出圧力計などが一体となった設計で装置組み込みに適しており、 高圧ジェット洗浄用としてウエハのIPA洗浄や溶剤による剥離等に用います。 【特長】 ■小型な組込用ポンプユ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

CS-タッチスイッチ『CSR』

巻取りチェックや物体の有無検知に！コンパクトな形状で低価格なタッチスイ…

『CSR』は、検出体に対して回動レバーが摺動、偏角当りし、内部の 無接点発信部より信号が出力される、摺動・偏角当り用CS-タッチスイッチです。 レバー長によってストロークを変えられ、接触力を低くすることができます。 また、コンタクト部は検出体に応じて変えられます。 巻取りチェックや、生鮮食品の物体の有無検知などにご使用いただけます。 【特長】 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メトロール

超小形ボールプランジャスイッチ『BP4S／BP5M』

ボールプランジャーにスイッチを内蔵！部品点数・設計工数が節減ができます…

【標準仕様】 <BP4SWA> ■外形：φ4 ■ストローク：0.8 ■接触力（軸方向）：1N ■保護構造：IP40 <BP5MWA> ■外形：M5×0.5 ■ストローク：1 ■接触力（軸方向）：1N ■保護構造：IP40 ※詳しくは...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メトロール

高真空度クラス対応形スイッチ『GNシリーズ』

低アウトガス対応の材質・接着剤・コードを採用。高真空環境専用位置決めス…

0.003mm（レンジ） ■対応真空度／ベーキング許容温度：10-5Pa/120℃ ■動作までの動き：約0.3（A：NO）/なし（B：NC） ■応差：0 ■接点精度寿命：300万回 ■ストローク：1.5mm ■接触力：0.5N ■接点定格：DC5V～DC24V　定常電流10mA以下（突入電流20mA以下） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メトロール

低接触力スイッチ『CSFシリーズ』

0.1Nの低接触力でディスクを傷つけない！微細部品の検出などに好適なス…

に好適です。 【主な仕様(抜粋)】 ■接点構造：無接点形 ■動作形態：A：NO ■動作点の繰返し精度：ON⇔OFFとも 0.01mm（レンジ） ■動作までの動き：約0.4mm ■ストローク：2mm ■保護構造：IP40 ■使用温度範囲：0℃～60℃（氷結ないこと） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メトロール