簡易実験用スパッタリング装置（ＳＲＶ３１００型）

小径基板専用のコンパクトタイプスパッタリング装置　全手動操作で低コスト…

高い信頼性をもつ上位機種と真空槽・排気系を共通化。操作方法の手動化によって低コスト化を実現。膜種・目的に合わせて各部（カソード・基板台等）が選択可能。実績豊富な各部機構と安定した成膜性能で研究開発作業の効率化・質の向上が「図れます。...成膜系：φ３インチカソード　１元装備 　　　：高周波電源　　　　　１源装備　 　　　：基板加熱機構標準装備 　　　：排気系　拡散ポンプ＆油回転ポンプ 操作...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

パウダーディスペンサー　SDB-1

粉末を、正確な体積量で分注します。

デスクトップ型の粉体自動ディスペンサーSDB-1は、高精度かつ再現性高く、あから締め設定した体積量の粉末を分注することができます。 分注速度は1回の分注につき2.5～3.5秒です。 ディスペンサーヘッドは交換可能で、小型のディスペンシングヘッドは、5mgから250mg（バルク密度による）までの量を一度に吐出することができ、複数回吐出することも可能です。大粒径用ディスペンシングヘッドは、5mgか...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

新対向ターゲットスパッタリング（NFTS）装置

超伝導薄膜応用分野やMEMS応用分野などに！低ダメージ・低温成膜で有機…

新対向ターゲット式スパッタ（New Facing Targets Sputtering：NFTS）技術は 高密度プラズマを箱型空間に拘束することにより、堆積基板へのエネルギー種 （反跳粒子、イオン、電子）の衝撃によるダメージを抑制できる原理・構造を 特長とする成膜技術です。 NFTS技術により、これまでのスパッタ技術では困難とされていた低温・低ダメージで 高品質な薄膜を形成することが...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トヤマ

巻取式プラズマ処理装置（RtoRプラズマ装置　評価テスト受付中）

繊維の搬送・処理に実績を持っており電子関連や先端材料まで幅広い用途に対…

理装置」を取り扱っています。 真空プラズマにより基板や目的に合わせたプロセスガスやプラズマモードが 選択でき、大気圧プラズマでは困難なプロセスに対応しています。 実績豊富な巻取式スパッタリング装置と基本構造を共通化しており、 信頼性の向上とコスト低減を図っています。 薄膜成膜前の表面処理に有効で、有機物の除去や親水化などに 大きな効果が得られます。 【特長】 ■真...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

【関西ものづくり新撰2023選定！】緻密＆平滑膜形成装置

驚くほど緻密で平滑な反応膜を実現した『アーク放電型マグネトロンスパッタ…

当社で取り扱う、『アーク放電型マグネトロンスパッタ装置』をご紹介します。 マグネストロンスパッタ機構の前面に低電圧大電流のアーク放電機構を付加 したことで、基板に入射するイオン量が一般的な装置に比べて10倍多くなり、 緻密で硬い、平滑な反応膜を工業レベルで形成できるようになりました。 また、コーティング面の仕上げ研磨が不要になったことで、耐久性も向上し、 省エネルギーに貢献してい...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

くし形電極加工（オーダメイドでパターンチップを作成します）。

各種金属を薄膜〜パターン加工した「くし型電極チップ」です。 電極構成…

１）薄膜成膜実績 真空蒸着・スパッタリング加工を用いて、多様な金属や誘電体での成膜が可能です。基板についても、実績種類は豊富です。最適な薄膜構成をご提案致します。 ■金属/合金単層膜 Au、Ag、Pt、Cu、Ti、Cr、Ni、Al...

メーカー・取り扱い企業： 安達新産業株式会社 本社

ミラー　Layertec

■レーザー■ピコ秒レーザー用■ナノ秒レーザー用■フェムト秒レーザー用■…

学及び企業の研究者に使用されてまいりました。またLAYERTEC社では高精度のオプティクス加工技術（グリンディング，ポリッシング，クリーニング）とコーティング技術（マグネトロン及びイオンビームスパッタリング，温度蒸着､イオンアシスト電子ビーム蒸着）を融合させています。現在は従業員数も300名を超えまして、40のコーティングチャンバーを所有しお客様のご要望にお応えしております。またこれらの経験値を...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オプトロンサイエンス