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【洗浄対象プロセス】 ○CVD ○スパッタリング ○イオンミリング ○ドライエッチング(半導体・液晶) ○エピ 【洗浄事例】 ○膜種にもよりますが、CVD等の成膜プロセスで使用されるセラミックス・金属パーツの表面付着膜を除...
メーカー・取り扱い企業: テクノクオーツ株式会社
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