- 製品・サービス
65件 - メーカー・取り扱い企業
企業
52件 - カタログ
200件
-
-
-
PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…
ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...
メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社
-
-
-
-
-
PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能
当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...
メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
-
-
-
-
-
20年以上の歴史を誇る実績のラインナップ。R&Dから量産までハイエンド…
搬送室を中心としたクラスター型スパッタリング装置。 基板搬送もベア及びトレイ（サセプター）も標準対応。矩形・小径・不定形 多くの基板に積極対応。 最大8インチ及び8インチ相当の矩形基板に対応。6角形タイプと4角形タイプの２機種を標...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
-
-
-
-
SDR型巻取式スパッタリング装置（RｔｏＲタイプスパッタ装置）
サンプルテスト対応中 フィルム・金属箔に成膜、フレキシブルデバイスや先…
装置形態：巻取式マグネトロンスパッタリング装置 基板寸法：最大幅１０００ｍｍまで対応 カソード数：最大４元 膜種：金属・磁性膜・反応性酸化膜 オプション機構： プラズマ前処理機構・イオンガン・ランプヒータ・加熱ロール等...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
-
-
-
-
スパッタリングは低温でもすぐれた密着が得られます。ローコスト・短納期に…
スパッタリングは乾式メッキ法に分類され、コーティングする対象物を液体や高温気体にさらす事なくメッキ処理が出来ます。それにより様々な基盤材料(樹脂・ガラス・セラミック・その他)の板物・成型品に、例えば電極・シールド・マスキングとして使用されています。 【特徴】 ・異なる金属を同一ターゲットに「合金」として加工し成膜する事が可能 ・クリーンな表面処理加工 ※詳しくは、お問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ビースパッタ
-
-
-
-
色や質感など、アレンジ自在！環境にも配慮した塗膜の先進技術です
当社では、環境に配慮しリサイクル性にも優れた薄膜加工を代表する コーティング技術『スパッタリング』を用いて、強さと美しさを併せ持つ 塗膜をご提案いたします。 当社のスパッタリングはクロム、その他金属など、使用するターゲットによって 様々な色調や質感を得ることができます。 ...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社戸塚綜業
-
-
-
-
導電性カーボン薄膜をスパッタリングで形成。低温（４００℃以下）で不活性…
独自高密度スパッタ法 アーク放電型マグネトロンスパッタリング法（ＡＤＭＳ法）によりメタル成膜と同等のプロセスで導電性カーボン薄膜を形成。 従来のスパッタカーボン薄膜に比べて格段に緻密で高い密着性が特徴。 導電特性と膜の安定性よりエネルギー・バイオセ...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
-
-
-
-
先端薄膜デバイスの研究開発に最適。カスタマイズ容易な枚葉式超高真空イン…
１０‐⁷ｐａの排気性能を持つ超高真空スパッタリング装置。標準構成でカセット室・搬送室・エッチング室・複数のスパッタ室を装備。全自動ＣｔｏＣ方式による完全自動運転で研究開発作業の効率化を実現いたします。 高効率強磁性体用カソードやワイドエロー...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
-
-
-
-
R&Dやニッチプロセスへの対応に特化 量産用装置では困難な少量生産や試…
先端薄膜プロセス開発・少量生産専用の低コスト型マルチチャンバスパッタリング装置。 膜厚制御性に優れた高効率カソードと豊富なオプション機構により幅広い分野に対応 Ｓｉ半導体の電極・配線膜だけでなく、マイクロ磁気デバイスやＭＥＭＳ用の磁性体膜・絶縁膜・保護膜など各種...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
-
-
-
-
ロードロックタイプスパッタリング装置（枚葉搬送タイプ）デモ対応中
ディスクリート素子から先端デバイスまで、Ｒ＆Ｄに量産に。コンパクト、ハ…
基板の枚葉搬送を基本としたロードロックタイプスパッタリング装置、上位機種（マルチチャンバタイプ）のプロセスチャンバと搬送機構を共用。 高いレベルの膜質要求に対応、各種ＩＣ（ディスクリートＩＣ、カスタムＩＣ，化合物）の量産・試作。 次世代デバイスの...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
-
-
-
-
ＡｌＮテンプレート作成装置（配向性ＡｌＮ膜用スパッタリング装置）
ＵＶ－ＬＥＤ用ＡｌＮテンプレートをスパッタで。高い結晶性とＣ軸配向性を…
ＵＶ－ＬＥＤの製造の低コスト化に必要なサファイア基板へのＡｌＮテンプレートをスパッタで作成。１００arc／ｓｅｃ以下のＣ軸配向性を持つＡｌＮ膜を低温（７００℃以下）でスパッタリングで形成。 シンプルかつ安定したプロセスとハイスループット性でＵＶ－ＬＥＤの低コスト化に貢献。 サンプルテストに対応中、高周波デバイスへの展開も開発中。 ...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
-
-
-
-
スパッタ膜の成膜を行います。他社で無理そうなものでもご相談下さい
低価格、短納期で1個からの試作も承っております。特に樹脂フィルムや樹脂成形品へのスパッタも得意としております。透明光学樹脂部品のマスキングスパッタリングも可能です。蒸着分野の仕事もスパッタで可能です。...
メーカー・取り扱い企業： 若狭電機産業株式会社
-
-
-
-
各種基材へロール to ロールで金属薄膜を形成します。
河村産業では、各種基材へ 銅・ニクロム合金・クロム のスパッタリング加工を行っています。 より密着力が必要な場合は、弊社のプラズマ処理を前処理として行うなどの提案が可能です。 【河村産業の『スパッタリング加工』の特長】 ■ロール to ロールで...
メーカー・取り扱い企業： 河村産業株式会社
-
-
-
-
手動バッチ型と簡易ロードロック型の2機種 簡易ロードロックタイプで化合…
当製品は、基礎研究から先端プロセスの開発までカバーする シンプルでコストパフォーマンスの高いスパッタリング装置です。 全手動化し低コスト化したバッチタイプと手動搬送機構を装備した 簡易ロードロックタイプの2機種をラインアップ。両機種とも上位機種の プロセス性能を維持した上で、大きなコスト...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
-
-
-
-
スパッタリングは物理的薄膜形成技術（PVD）であり、ガラス、プラスチッ…
スパッタリングは、イオン工学を応用した新しい表面処理技術で、樹脂メッキのような公害問題もなく、真空蒸着では困難であったCrをメッキできるという特色をもっております。 ABS樹脂以外の各種エンジニアリング・プラスチックスにもCrメッキができる………「プラスチックの表面処理に新しい時代を拓く」………新技術です。 Cr以外にもほとんどすべての金属が可能で、更に樹脂メッキのCrに近い色調を出すことが...
メーカー・取り扱い企業： 安達新産業株式会社 本社
-
-
-
-
多機能・コンパクト・フレキシブル対応、実績と信頼の標準型ラインナップ
コンパクトな筐体に３元のカソードを組み込んだ標準バッチタイプスパッタリングシリーズ。広い膜厚分布均一範囲と自動制御機構によって各種電子デバイスや関連材料の成膜工程をの基礎開発から量産までカバーします。 多くの納入実績に支えられた成膜プロセスとオプションにより御要望...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
-
-
-
-
ターゲット材、スパッタリング材用高純度シリコン製品（5N〜6N）
高純度シリコン製品（5N〜6N）をお客様の要望によってカスタマイズしま…
弊社では、高純度シリコン製品を製造する海外企業と密接な関係を作っており、お客様の要望に合わせた仕様の多結晶シリコン・インゴット、単結晶シリコン・ターゲット、単結晶スパッタリング・ターゲットを供給可能です。まずは弊社からのヒアリングにお答えいただき、サンプルを作成させていただきます。そのサンプルを実際にお手にとってご判断ください。きっとご満足いただけると思っております...
メーカー・取り扱い企業： テラスケープ合同会社
-
-
-
-
硬質膜用スパッタリング装置ＳＴＬ５５２１型（精密レンズ金型用）
最大５元カソードによる多元・多層成膜。耐摩耗性・耐熱性・平滑薄膜。ロー…
とガス冷却機構を併用する特殊基板台を装備。 高温加熱による膜の密着力の確保と処理の高速化を実現。 幅広い材質・形状に最適な膜種・処理温度・プロセスを実現できる硬質膜用専用ロードロックタイプスパッタリング装置...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
-
-
-
-
高密着性 低温ＰＶＤコーティング
安定した密着性！ ＰＢＳ（プラズマブースタースパッタリング）プロセス クロムメッキ代替ドライコーティング ■□■特徴■□■ ■低温処理で安定した密着性 ・２５０℃以下の低温処理が可能なため、ＳＣＭ浸炭鋼やＳＫＳ、 ＳＵＪ等にも、母...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ツール・テック東北
-
-
-
-
スパッタリング薄膜（フィルム/繊維） 受託加工/受託成膜/開発
各種材料、基材の加工実績が豊富！基材×薄膜＝光学調整・導電・抗菌/ウイ…
積水ナノコートの『スパッタリング技術』をご紹介します。 多様な用途/機能での実績があり、各種材料、基材の加工実績が豊富。 化学繊維、炭素繊維など、独自の繊維へのスパッタ加工に対応しています。 また、最大3400...
メーカー・取り扱い企業： 積水ナノコートテクノロジー株式会社
-
-
-
-
水素フリーDLCコーティング装置（高密度スパッタＡＤＭＳ装置）
独自技術で従来に無い水素フリーDLC膜を形成（水素含有量１％以下）優…
従来に無い水素フリーDLC膜（膜中水素含有量１％以下）を量産装置で実現 成膜プロセスに水素を使用しない高密度プラズマスパッタ技術を採用、新方式PVD装置（ADMS＝アーク放電式マグネトロンスパッタリング装置） 水素フリーの緻密なDLC膜は従来の水素含有DLC膜に比べＭｏ添加の潤滑油中の摺動特性を１／１５以下に低減（１⇒０．０６） 最新成膜プロセスで導電性カーボン薄膜の形成にも対応。バイオ...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
-
-
-
-
ハイブリッド硬質膜コーティング装置（ＤＬＣーＣＶＤ＋ＰＶＤ装置）
ＣＶＤ－ＤＬＣと硬質膜用ＰＶＤの複合型コーティング装置。スムースサーフ…
自動車用のＤＬＣ膜に実績豊富なＰＩＧ式ＤＬＣ膜コーティング装置に高密度スパッタカソードＡＤＭＳ機構（アーク放電型マグネトロンスパッタリングカソード）を多元追加。トライボロジー特性に優れたＤＬＣ膜に硬質合金膜を積層。スムースな表面を持つ新硬質コーティングを実現。 従来のＤＬＣ膜も新カソードの機能を追加し性能UP。 密着力。耐面...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
-
-
-
-
フィルムやガラスの透明性を保ちながら、導電性を付与する特殊加工
スパッタリング加工により、透明性を保ちながら表面導電性を付与する加工です。 【特長】 本来、電気絶縁体である透明なフィルムまたはガラスに透明性を保ちながら表面導電性を付与した膜です。液晶用電極・帯電防止・電磁波シールド・電熱ヒーター等の商品に利用しています。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ビースパッタ
-
-
-
-
先進のプラズマブースタースパッタリングプロセスによる硬質薄膜です。
プラスチック成形金型用セルテスコーティングは、先進のプラズマブースタースパッタリング（PBS) プロセスによる２～８μmの硬質薄膜です。射出成形においてガラス繊維などの硬質添加物によるアブレシブ摩耗を低減するとともに、ガス焼けや腐食による鋼母材の荒れを防ぎます。またプラスチッ...
メーカー・取り扱い企業： ナノコート・ティーエス株式会社 石川事業所
-
-
-
-
電子材料向け『スリット・表面処理・熱ラミネート 』【河村産業】
【技術紹介資料4点進呈】試作から量産までお応えします！材料調達もサポー…
河村産業では、スリット加工を始め、プラズマ表面処理やスパッタリング加工、熱ラミネート加工などを融合することで様々な機能を持つ電子材料を創り出し、提供しています。 材料調達を含め、試作から量産まで一貫対応が可能です。 小ロット依頼もお問い合わせお待...
メーカー・取り扱い企業： 河村産業株式会社
-
-
-
-
薄膜加工技術の解説付きガイドブック『薄膜Q&A』を無料進呈中！
各コーティング方法の違いや特徴、コーティング事例、お問い合わせの多い質…
できるの？ ・こんなコーティングはできるの？ ・試作だけでもいいの？量産もできるの？ 東邦化研株式会社では、表面処理に好適なイオンプレーティング（PVD）・真空蒸着・プラズマCVD・スパッタリングなどによる薄膜コーティング受託加工サービスを行っております。 イオンプレーティング部発足以来、約40年に渡って幅広い分野で実績を残してまいりました。 その中で、特にお問い合わせの多い質...
メーカー・取り扱い企業： 東邦化研株式会社
-
-
-
-
SIP処理について詳しく解説！より効果的に活用するためのガイド付き
当資料では、樹脂成形・組立と表面改質処理SIP処理の受託加工を行っている 和興産業が『SIP処理』についてご紹介しています。 当社では、PVD法マグネトロンスパッタリングによる自然に優しい 真空技術を用いた表面改質処理サービスを行っております。 特殊な皮膜を金型、機械部品、工具にコーティング処理し、耐摩耗性、耐熱性、 耐凝着性、滑り性を著しく向上・改...
メーカー・取り扱い企業： 和興産業株式会社 宇部工場
-
-
-
-
低温処理で安定した密着性コーティング！200℃以下の低温処理が可能
特殊スパッタリングおよびプラズマＣＶＤプロセスの採用により低温プロセスで高膜厚精度で密着力にすぐれた耐摩耗、耐焼付き、低摩擦係数などすぐれたトライボロジー特性を持つコーティングを豊富な実績と経験に基づいて高品質...
メーカー・取り扱い企業： ナノコート・ティーエス株式会社 石川事業所
-
-
-
-
最先端をゆくカソードアーク方式のイオンプレーティング装置です。
イオンプレーティング装置『Jcoat -PVD-』は、PVD法には、真空蒸着、スパッタリング、イオンプレーティングなどがある中、最先端をゆくカソードアーク方式のイオンプレーティング装置です。 また、切削工具の分野で実績の高いHCDホロカソード方式のイオンプレーティング装置をそろ...
メーカー・取り扱い企業： 日本コーティングセンター（ＪＣＣ）株式会社
-
-
-
-
セルテス ラインアップに新規多層被膜登場！
冷間鍛造金型・打抜き金型の耐荷重性・耐衝撃性向上にセルテスT 多層コーティング。 PBS（プラズマブースタースパッタリング）プロセスにより250℃以下の低温処理が可能です。 低温処理にもかかわらずロックウェルC スケール150kgf 押込み試験でも剥離がまったく観察されません。 【特徴】 ○低温処理でも...
メーカー・取り扱い企業： ナノコート・ティーエス株式会社 石川事業所
-
-
-
-
誰でも使える簡単操作の卓上型コーティング装置
タッチパネル操作のフルオート多目的成膜装置です。 インサートを交換することでスパッタリング、カーボン蒸着（ロッド・ファイバー）、グロー放電と多目的に使用可能なハイブリッドモデルもございます。 多くの研究室で導入されている多目的成膜装置は操作が非常に簡単です。ターボ分子ポンプ内蔵の...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アド・サイエンス
-
-
-
-
受託加工専業30年を超える実績！技術の向上で、更なるイノベーションへ！
東邦化研株式会社では、表面処理に最適なイオンプレーティング（PVD）・真空蒸着・プラズマCVD・スパッタリングなどによる薄膜コーティング受託加工サービスを行っております。 特に導電性・絶縁性等の機能性膜に重点を置き、試作・開発・研究・大量生産・小ロット生産までの、幅広いご要望にお応えするべく体制...
メーカー・取り扱い企業： 東邦化研株式会社
-
-
-
-
機械部品・金型の『耐食性』、『耐摩耗性』、『離型性』を飛躍的に向上！ク…
～クロームドッペ-Nの特性～ 【処理方法】スパッタリング 【硬さ（Hv）】1500～2000 【組織】 固容体（Cr+N）+CrxNy 【密着性】 ○ 【耐食性】 ◎ 【寸法精度】 ◎ 【離型性】 ◎ 【処...
メーカー・取り扱い企業： DOWAサーモテック株式会社
-
-
-
-
ALNコーティング装置（高密度プラズマスパッタADMS装置）
高密度プラズマスパッタで結晶性ＡｌＮ膜を形成、立体形状への全面コーティ…
独自開発の高密度プラズマスパッタ ADMS法（アーク放電型マグネトロンスパッタリング法）により従来に無い緻密なＡｌＮ膜を立体形状基板に成膜。 従来の10倍のイオン量の高密度プラズマスパッタを実現。他には無い高反応性スパッタで結晶性ＡｌＮを５００℃以下の低温で形成 電子デバ...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
-
-
-
-
加工ワークサイズは球状から長尺物まで可能！電気を通さない絶縁物にも実績…
チタンやクロムなどの 窒化・炭化・酸化させたセラミック膜のコーティングを行う手法です。 当社では「電子銃溶融型イオンプレーティング」「アーク放電イオンプレーティング」 「マグネトロンスパッタリング」の3方式の設備を保有。 基材とご要求される成膜条件に合わせた加工機を選択する事ができ、金属製品に 擦り傷や摩耗剥がれに強く、耐蝕性・耐候性に優れた意匠着色を得意としております。 ...
メーカー・取り扱い企業： アイテック株式会社
-
-
-
-
「メッキの役割」、「外観の向上」、「耐食性の向上」などを紹介します。
メッキ法は処理の態様から湿式・乾式に大別されます。湿式メッキ法は化学的作用によるもの（電気メッキ法・化学メッキ法・浸漬メッキ法など）で、乾式メッキ法は物理的作用によるもの（真空蒸着・スパッタリング・イオンプレーディングなど）です。日本バンパー販売株式会社の工法は、電気メッキ法（クロム）です。電気メッキ法とは、金属塩の水溶液から外部電流により加工物表面へ金属を還元析出させるもので、Cu、...
メーカー・取り扱い企業： 日本バンパー販売株式会社
-
-
-
-
切削工具への適用から始まり、金型・自動車機構部品・食品・医療機器等など…
当社で行っている、PVD・DLCコーティングについての紹介です。 PVD処理は、大別すると、真空蒸着、スパッタリング、 イオンプレーティングに分けることができます。 その中でも、セラミックスの薄膜を生成する方法として、1964年提唱された イオンプレーティングは、その後多くの研究者によって多くの改...
メーカー・取り扱い企業： 朝日熱処理工業株式会社
-
-
-
-
GD-OES（グロー放電発光分析）によりNiめっきの膜厚、濃度の分析状…
グロー放電発光分析法(Glow Discharge OpticalEmission Spectrometry:GD-OES)は、スパッタリングにより試料表面から原子を弾き出し原子をプラズマ状態に励起し、生じた発光を測定することで試料の組成を分析する方法です。 この事例ではGD-OESによる「めっき工程前の基板洗浄効果調査」を紹...
メーカー・取り扱い企業： セイコーフューチャークリエーション株式会社
-
-
-
-
切削工具、金型向けHi-coatγ【表面処理入門冊子を進呈】
一般的（TiN、AlCrN）な約3倍の長寿命化を実現！メンテナンスコス…
1章 コーティングを知る ・コーティングの世界 ・表面処理とは？ ・コーティングとは？ ・薄膜コーティングの世界 2章 コーティングプロセス ・真空とは？ ・蒸着とは？ ・スパッタリングとは？ 3章 アイシイエス技術紹介 ・DLCコーティング ・膜種一覧 ・お問い合わせ 表面処理でお困りの方は、 お問い合わせまたはダウンロードからご連絡ください。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイ・シイ・エス
-
-
-
-
低摩耗・低摩擦コンポーネントとして活躍！さまざまな業界でも活用されてい…
ています。 拡張性の高い装置で、非常に多くの当コーティングを1台で生産できるため、 効率的な生産と低所有コストが可能となっています。 また、「CrN」は、アーク蒸着やマグネトロンスパッタリングによって 生産された窒化クロムは優れた耐摩耗性、強靭性および高耐熱性を有しており、 非常に活用されています。 【特長】 ■低摩耗・低摩擦コンポーネントとして活躍 ■効率的な生産と...
メーカー・取り扱い企業： IHIハウザーテクノコーティング 日本支店
-
-
-
-
高密着・高耐摩耗性能・多彩な色調！硬質で優美な無公害薄膜表面処理
『イオンプレーティング』は、宇宙開発技術の一環として米国で開発された 薄膜表面処理技術です。 PVD(物理蒸着)の一種で、真空蒸着やスパッタリングに比べ密着力が高く、 TiN(窒化チタン)等の高硬度な皮膜を加工できます。 当社では独自のイオンプレーティング技術により、低温処理にて 樹脂めっき製品上へ直接処理を行います。従来の樹...
メーカー・取り扱い企業： 塚田理研工業株式会社
-
-
-
-
GD-OES（グロー放電発光分析）によりステンレス(SUS)の表面をス…
グロー放電発光分析法(Glow Discharge OpticalEmission Spectrometry:GD-OES)は、スパッタリングにより試料表面から原子を弾き出し原子をプラズマ状態に励起し、生じた発光を測定することで試料の組成を分析する方法です。H(水素)が検出できるのも本装置の特長です。 この事例では「変色したス...
メーカー・取り扱い企業： セイコーフューチャークリエーション株式会社
-
-
-
-
自社開発PVD装置PAICシリーズを導入！除膜・再コーティングによる金…
が少なく、 除膜・再コーティングによる金型のリサイクルが可能。 当社では、AIP(アーク・イオン・プレーティング)連続式とバッチ式、 DLCはUBMS(アンバランスド・マグネトロン・スパッタリング)方式を 採用しています。 【工法】 ■TiAlNコーティング ■TiCNコーティング ■CrNコーティング ■TiNコーティング ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、...
メーカー・取り扱い企業： SEAVAC株式会社 本社
-
PR
-
【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置
モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用…
テルモセラ・ジャパン株式会社 -
3次元レーザ統合システム『ALCIS-1008e』
【変わる世界に、光でこたえを。】高出力Blueレーザによる高速…
株式会社アマダ（アマダグループ）