【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

【セミナー8/28】『スパッタリング』の基本と考え方 ， 膜の

スパッタリング率の測定法は？

■　講　師 有限会社アーステック 代表取締役 小島 啓安 氏 【名古屋大学 客員教授】 　 <経歴> 1977年 キヤノン(株)にて半導体露光装置用光学薄膜プロセス， 膜設計の開発に従事 　　　　　　 1982年 旭硝子(株)にて建築・自動車用硝子スパッタ，膜開発に従事 　　　　　　 2003年 (有)アーステックを設立 　　　　　　 2009年8月より 名古屋大学 客員...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社技術情報協会

スパッタリングにおけるフィルム表面改質と薄膜密着性向上

基礎とトラブルを中心にいま流行のタッチパネル関連部材へのスパッタリング…

講　師 東海大学　工学部　機械工学科　教授　岩森　暁　氏 対　象 スパッタリング・プラスチック成膜に関心のある技術者・研究者・担当部門・初心者など 会　場 東京中央区立産業会館 4F　第4集会室【東京・日本橋】 都営新宿線 馬喰横山駅 地下通路経由　　B4出口 5分...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社AndTech

『高速スパッタリングによるさまざまな用途への成膜技術および装置面

※9月3日までに初めてお申込いただいた新規会員様は早期割引価格⇒42,…

第1部　スパッタの基礎と装置から見た改善策 1.スパッタリングの基礎 2.スパッタ装置の改善と変遷 3.膜厚分布の改善 4.ステップカバレージの改善 　4-1　ステップカバレージの改善要求 　4-2　カバレージが必要な理由 　4-3　スパッタ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社AndTech

スパッタの基礎と装置の改善策 ～トラブルから見た膜厚分布改善

★スパッタプロセス時に要求される、膜厚分布の改善、パーティクルの低減改…

講　師 株式会社アルバック 　半導体電子技術研究所　研究部　部長　様　 対　象 スパッタリング、薄膜技術に関心のある技術者・研究者・担当部門・初心者など 会　場 東京中央区立産業会館 4F　第2集会室【東京・日本橋】 都営新宿線 馬喰横山駅 地下通路経由　　B4出口 5分　(道案...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社AndTech

≪大阪開催≫『スクリーン印刷の新技術を含めた印刷メカニズムおよび

★蒸着、スパッタリング、インクジェットとの違いは? ★印圧、版離れ、…

【講　師】　3DPowers,Inc.(株)　代表取締役　村野　俊次　氏 【日　時】平成22年10月27日(水)　10:00〜16:30　 【会　場】エル・おおさか　研修室1【大阪・天満橋】...【講演趣旨】 　スクリーン印刷は、導入後、直ぐに高度なパターンを形成出来る。しかし、量産すると原因の特定が難しいトラブルが発生する。これは印刷がミクロンオーダーの細かい部分で行われており、こ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社AndTech