オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

多目的スパッタリング装置

研究開発から量産までサポート！

容易。 【各種　選択機能】 ●カソード変更（大型カソード化、4インチカソード多元化） ●高温加熱機構（800℃） ●バイアススパッタ機構 【ラインナップ】 ●ロードロック式スパッタリング装置 ●マルチチャンバスパッタリング装置 ●超高真空対応枚葉式スパッタリング装置 ●サイドスパッタリング装置 ●カルーセルタイプスパッタリング装置 ●巻取式スパッタリング装置 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

イオンビームスパッタリング装置

RFイオンソースを使用し、シングルステージまたはプラネタリーステージを…

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 【装置仕様概略】 　・スパッタリング用イオンソース 　　フォーカスグリッド 　・アシスト用イオンソース 　　デフォーカスグリッド 　・シングルステージ 　・ターゲットホルダー 　・排気系 　・制御系 【オプション...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

空冷　小型スパッタ電源

ドイツ・ADL社製の、空冷式の小型スパッタ電源です。

「GSシリーズ：GS05-GS30」は、 容量0.5 kWから 3 kWまでをカバーした全11型式がございます。主に研究開発用の小型スパッタ装置をターゲットにした製品です。すべて空冷式であり、煩わしい冷却水を導入する必要がございません。...以下のモデルがございます。 型式　　　 DC-出力 　　　　　　　　パーツ番号 GS 05/800 0.5 kW 800 V 0.9 A 03Z040...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

膜厚モニター用水晶振動子

膜厚モニター用水晶振動子

蒸着装置やスパッタリング装置などの真空成膜プロセスにおいて、膜厚モニターとして広く使われているQCM方式の膜厚計用の水晶振動子です。周波数は５ＭHzと６MHz、電極膜材料は金（Au）と銀（Ag）を揃えております。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社アベニューマテリアル

アルゴンプラズマ（Arプラズマ）洗浄サービス

表面の汚れを除去！接合の安定化に最適なアルゴンプラズマ洗浄サービスをご…

アルゴンプラズマ（Arプラズマ）洗浄サービスは、アルゴンのプラズマを用いて基板や素子の表面をスパッタリングし、表面の数分子を洗浄除去します。接合の安定化に使用され、主にワイヤーボンドを行う前に利用されます。 【サービス概要】 ■新しい機材や樹脂材料との接合強度を測定する際に、表面汚れを防ぐ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社佐用精機製作所

アメリカ製 三酸化インジウム

ITO、IZGOスパッタリングターゲット用に実績多数！４N、５Nなど高…

＊微粒子グレードあり。BET値などご要望に応じて粒度調整可能。 ＊脱中国のソースとしてご検討ください。 当社無機ファイン部HPもご覧ください。 ...　...

メーカー・取り扱い企業： 蝶理株式会社 無機ファイン部

シリコンゴムロール　シリーズ

μレベルの微細なゴミ除去、優れた摩耗性

本製品はクリーン用途に使用される各種フイルム基材、機能性フイルム、光学フイルム、蒸着・スパッタリング材料、金属箔やガラス基板などの印刷、コーティング、ラミネート、スリット加工等の加工、製造工程で使用されます。 ＜各種光学材料、ＦＰＤ用の液晶、ＬＥＤ、ＥＬ、ＰＤＰ等の表示材料、半導体材料、プ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イワナカコーポレーション 東京本社

USTRON株式会社　会社案内

自社生産ならではのスピーディかつ正確な情報を提供可能！各バッチに於いて…

USTRON株式会社は、薄膜材料、石英製品、及びその付属部品について 20数年間の生産経験を持っており、中国にある21,000m2余りの生産工場にて 各種高純度蒸着材料及びスパッタリングターゲット材料等の生産をしています。 厳しい品質管理により、各バッチに於いて安定した成膜を保証。 薄膜技術の生産・研究に専念し、日々発展する業界の中でお客様の信頼できる パートナ...

メーカー・取り扱い企業： USTRON株式会社

スパッタリングターゲット 市場レポート 2022

主要サプライヤーの情報等を掲載！スパッタリングターゲット市場とサプライ…

『スパッタリングターゲット 市場レポート 2022』は、米国の半導体材料 専門の調査会社テクセット社の調査レポートです。 半導体デバイス製造に適用されるスパッタリングターゲット市場とサプライ チェー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社データリソース