オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

DCスパッタリング電源

並列運転により最大60kW！出力500W～20kWと豊富な製品ラインア…

有限会社エイチ・エス・エレクトリックでは『DCスパッタリング電源』を 取り扱っております。 当社の従来品と比較して、約2/3の小型化を実現。 さらに、低アーク処理もオプションにて対応可能です。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社エイチ・エス・エレクトリック

技術資料『HiPIMSで 最高クラスのスパッタ成膜を！』

【無料プレゼント】スパッタリング成膜の豆知識や、最大の課題であるアーク…

スパッタリングとは大面積かつ、均一に薄膜形成が可能な方法であり、 半導体やLCDの製造に広く使用されています。 ただ、最大の課題である『成膜中に発生する異常放電（アーキング現象）』は ターゲット表面が溶融、飛散することにより製品歩留まりを低下させてしまいます。 スパッタリング成膜『HIPIMS』の特性や特徴、アーキングの対策方法など 図解でわかりやすく解説した技術資料を無料プレゼント！...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社