オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

コンパクトプロセスガスモニタQulee CGMシリーズ

高圧下での高精度、高分解能を、革命的なシンプルさと使いやすさとともに実…

、革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVAC の新型残留ガス分析計／プロセスガスモニタです。各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモニタの新スタンダードの登場です。スパッタリング装置のプロセス管理（品質向上、歩留まり向上）に最適です。 【仕様】 ○質量分離方式　四重極型質量分析計 ○質量数範囲　1～50 amu ○分解能　M/△M=1M（10% P.H.）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

ULVAC DIGEST　真空関連機器　総合カタログ

無料プレゼント中！真空ポンプやクライオポンプなどを紹介しています。【ア…

セスガスモニタ ○膜厚計 →高速分光エリプソメータ ○リークディテクタ ○電源 ○膜厚・蒸着速度制御 ○真空機器構成部品 ○分子間相互作用解析装置／ソフトウェア／真空搬送系 ○スパッタリング装置 ○蒸着装置／巻取式蒸着装置 ○CVD装置／イオン注入装置 ○アッシング装置／自然酸化膜除去装置 　エッチング装置／巻取式スパッタリング装置 ○研究開発用装置 ○分析装置 ○...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

光学式プロセスモニタOptius

さまざまなプラズマプロセスの状況をリアルタイムに監視することができます…

光学式プロセスモニタOptiusは、プラズマの発光スペクトルを測定することで、さまざまなプラズマプロセスの状況をリアルタイムに監視することができます。 反応性スパッタリングでのMFC制御やエッチングのエンドポイント検出などに最適です。 【仕様】 ○質量　本体ユニット（TSC）： 4.9kg 　　　　拡張ユニット（ESC, 1ch）： 1.3kg ○電...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

圧力センサー 高温用 PX1004L1

圧力センサー高温用

頼性です。 補償温度範囲は＋24℃～＋204℃で、動作温度範囲は－54～＋232℃です。温度零点シフトおよび温度感度シフトは±0.018%FSO/℃です。 歪ゲージは、基板と分子結合を形成するスパッタリング技法で作られています。このため、圧力変換器の較正の変化を生じる、シフト、ドリフトあるいはクリープが本質的にありません。直線性、ヒステリシス及び繰返し誤差合計は±0.25%FSOです。 15 p...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パシフィックテクノロジー

真空環境内の圧力測定センサ【真空環境内の圧力分布を同時測定！】

真空チャンバー内などセンサ複数設置により広範囲が測定可能！今まで困難だ…

ム構築 ■耐振動・耐環境性 真空装置内の任意の箇所へ設置してピンポイントで圧力測定ができます。また、複数設置で圧力分布測定も可能です。 例１：真空蒸着装置の対象物前後に設置 例２：スパッタリング装置の対象物近傍へ設置 例３：真空成形装置の金型近傍へ設置 例４：真空チャンバー内へ複数設置 ※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社岡野製作所