オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

半導体材料の純度試験 微量元素分析の前処理装置

スパッタリングターゲット、CMPスラリーなど、微量不純物分析の前処理に…

9 cm ・温度：最大300℃ 、 圧力：最大199bar、 出力：最大2000W ・最大サンプル数:28 CMPスラリー：研磨剤、酸化剤（酸化性物質）、キレート剤、腐食抑制剤 スパッタリングターゲット：アルミニウム、銅、ステンレス、タンタル、ニッケル ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アントンパール・ジャパン

コンパクトプロセスガスモニタQulee CGMシリーズ

高圧下での高精度、高分解能を、革命的なシンプルさと使いやすさとともに実…

、革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVAC の新型残留ガス分析計／プロセスガスモニタです。各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモニタの新スタンダードの登場です。スパッタリング装置のプロセス管理（品質向上、歩留まり向上）に最適です。 【仕様】 ○質量分離方式　四重極型質量分析計 ○質量数範囲　1～50 amu ○分解能　M/△M=1M（10% P.H.）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

くし形電極加工（オーダメイドでパターンチップを作成します）。

各種金属を薄膜〜パターン加工した「くし型電極チップ」です。 電極構成…

１）薄膜成膜実績 真空蒸着・スパッタリング加工を用いて、多様な金属や誘電体での成膜が可能です。基板についても、実績種類は豊富です。最適な薄膜構成をご提案致します。 ■金属/合金単層膜 Au、Ag、Pt、Cu、Ti、Cr、Ni、Al...

メーカー・取り扱い企業： 安達新産業株式会社 本社

『X線光電子分光（XPS）分析』

軟X線を照射！基板や回路等の定性・半定量分析にも最適な光電子分光分析！

【分析項目】 ■広域・狭域光電子スペクトル測定による、試料構成元素の定性・半定量分析（Li～U） ■状態分析 ■上記分析とAr イオンスパッタリングを組み合わせた、深さ方向測定 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： コベルコ溶接テクノ株式会社

【導入事例】分光放射計Neoシリーズ

高い品質が求められるフィルターコーティングの精度を大幅に向上した事例を…

イオンビームスパッタリング(IBS)成膜装置の開発に従事している Cutting Edge Coatings GmbH(CEC社)と共同で分光放射計Neoシリーズを 導入した事例をご紹介いたします。 コーティ...

メーカー・取り扱い企業： Admesy Japan合同会社