リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

表面処理用多目的スパッタリング装置 STV6301型

立体形状部品や外周全面や平板基板の両面、立体形状の成膜に特化した表面処…

立体形状品の外周全面に成膜可能な基板機構と複数の目的を想定した成膜機構（カソード）を装備したスパッタリング装置。 冶金用途やハードコーディングで実績豊富で信頼性の高い機構と最新の成膜技術で従来に無い表面処理を実現。 独自機構でコップやタンブラーなどの凹形状の内面にも成膜を可能とし...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

プラズマ溶岩コーティング装置（STV6301スパッタリング装置）

最新プラズマ技術で桜島溶岩をコーティング。天然由来の機能性表面処理。あ…

マグネトロンスパッタリングにて桜島溶岩をコーティング。天然由来の溶岩を先端表面処理に応用。溶岩の特性をいかした熱的・化学的に安定な薄膜を形成。 各種素材（金属・ガラス・繊維）上に装飾膜（透明・干渉色）親水膜を実現。天...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

抗ウイルス スパッタリング加工（各種基材への抗ウイルス機能付与）

積水ナノコートテクノロジー独自のスパッタリング技術で、所望の基材（繊維…

効果が無いものが多い。 ４）溶剤とバインダーが使用されており、環境負荷が高い。 といった課題があり、これらを解決する手法をご提案します。 ◆解決出来る課題・技術適用による効果 １）スパッタリング技術により金属膜を基材上に成膜可能。このため効果は長期間持続。（現時点で半年以上の持続性を確認） ２）ノロウイルスへの効果が高く、食品関係の部材に最適。 ３）この膜一つで抗ウイルス、抗カビ...

メーカー・取り扱い企業： 積水ナノコートテクノロジー株式会社

【カーボン製品の用途】半導体・太陽電池

黒鉛（カーボングラファイト）は半導体製造装置の様々な部品として活躍して…

ター、ダミーウ工ハー、薄膜太陽電池の製造装置部材なども、 製造しております。 【製品（抜粋）】 ■高純度カーボン発熱体 ■シリコン引上用ルツボ ■半導体製造装置治具 ■カーボンスパッタリングターゲット ■固体高分子形燃料電池などのセパレータ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社レイホー製作所

AgCu繊維『SPT-1000F』

ナノシルバー粒子とナノカッパー粒子を繊維表面に直接担持

『SPT-1000F』は、化繊にスパッタリング加工を施した原材料です。 高純度粒子が担持されることにより、繊維自体が優れた抗菌性及び 抗ウイルス性を持ちます。 医療用品をはじめ、乳幼児用製品、スポーツウェア、住宅用資材などにご利用いた...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモエスティ