スパッタリング | イプロスものづくり

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オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池やバッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や表面保護のためのコーティングにも対応。サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の用途に応じて組み立てることが可能です。 ...
メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
【分析事例】SiGe中不純物の高精度定量評価

SIMS：二次イオン質量分析法

ます。 ●Ge濃度に応じた適切な定量補正を行わないと不純物定量値は本来の値に比べて50%以上異なることがある。定量評価を行うためには各組成に応じた標準試料が必要。 ●SiとSiGeではスパッタリングレートが異なる事が知られている。組成が深さごとに異なる試料においては、深さごとにスパッタリングレートが変化する。 MSTでは、標準試料の整備により高精度な組成分析が可能です。また、検量線...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
［IP法］Arイオン研磨加工

IP法は、研磨法の一種でイオンビームを用いて加工する方法です

IP法は、エネルギー及び方向を揃えたイオンビームを試料に照射したときに試料表面から試料原子が弾き飛ばされるスパッタリング現象を利用して、試料表面を削り取る方法です。イオン種は通常試料との化学反応の心配のない希ガス（MSTではAr）が用いられます。加工面のAES分析では遮光板成分（Ni,P）は検出下限以下でし...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【半導体向け】解析シミュレーションソフト　※カタログ進呈

工数・コスト削減に！薄膜生成、スパッタリング、プラズマエッチングなどの…

当社では、半導体関連装置向けに特化した解析ソフトを取扱っています。希薄流体解析ソフト、プラズマ解析ソフトをラインアップし、有機ELやマグネトロンスパッタのシミュレーションで活躍中です。「新商品開発をしたい」「製品改善時に実機(装置)を作って検証したい」「事前検証,装置との比較検証をしたい」などでお困りの方に。また、自社開発製品のため、導入後も手厚くサポートいたします。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
［FIB］集束イオンビーム加工

FIBは、数nm～数百nm径に集束したイオンビームのことで試料表面を走…

■微細イオンビームによる試料加工 Gaイオンを試料表面に照射すると、Gaと共に試料表面を構成している原子や分子が真空中にはじき出されます。このスパッタリング現象を応用したエッチングにより、サブミクロンの精度で平滑な断面を作製したり、穴を開けたりすることができます。 ■原料ガス供給による立体構造形成原料ガスを試料表面に吹き付けて吸着させ、...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【事例紹介】水電池へ使用されるV2O5電極表面への水吸着

『Materials Studio』はバッテリー特性計算ができます【事…

レーションツール ■メソスケール・シミュレーションツール ■統計ツール ■分析/結晶化ツール【事例】・結晶成長・結晶表面の原子の挙動・結晶解析・物性値の計算・スパッタリングシミュレーション・潤滑剤の性能向上・触媒・トライボケミカル(潤滑)反応　　　など【製品特長】 ■さまざまなタイプの材料に対応 ■一つのGUI画面上で、結晶構造の作成...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【分析事例】高分子フィルムの多層構造の解析

GCIBを用いた低ダメージスパッタリングで多層フィルムの層構造を明瞭に…

フィルムの機能性は素材・厚み・層構造等で決まることが知られています。今回は食品用ラップフィルムとして一般的に用いられるポリエチレン系多層フィルムの層構造を評価しました。 FT-IRで主にポリエチレンで構成されていることを確認したフィルムに対し、GCIB（Arクラスター）をスパッタに用い、TOF-SIMSで深さ方向に測定することで、10μmの厚みの中でポリエチレンとナイロン6とが積層されてい...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
シミ分析の受託サービス｜JTL

試料表面の微量なシミの分析から調査まで一貫してご対応します。

とが可能です。 ●薄いシミも分析可能酸化膜等の、ナノオーダーの非常に薄いシミも分析可能です。 ESCA/XPSを用いることにより、表面nmからの分析に対応しております。また、イオンスパッタリングにより、深さ方向の分析も可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： JAPAN TESTING LABORATORIES株式会社本社
［SIMS］二次イオン質量分析法

二次イオンを検出し、各質量における検出量を測定することで、試料中に含ま…

酸素やセシウムなどのイオン(一次イオン)を試料表面に照射すると試料表面近傍の原子は攪拌され、一部が真空中に飛び出してきます（スパッタリング）。飛び出してきた粒子のうちイオン(二次イオン)を質量分析することで、試料中に含まれる成分の定性・定量を行います。...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【DL可/GD-OES分析・測定】めっき基板の洗浄評価

GD-OES（グロー放電発光分析）によりNiめっきの膜厚、濃度の分析状…

グロー放電発光分析法(Glow Discharge OpticalEmission Spectrometry:GD-OES)は、スパッタリングにより試料表面から原子を弾き出し原子をプラズマ状態に励起し、生じた発光を測定することで試料の組成を分析する方法です。この事例ではGD-OESによる「めっき工程前の基板洗浄効果調査」を紹...

メーカー・取り扱い企業：セイコーフューチャークリエーション株式会社
【DL可/GD-OES測定】変色したステンレスの組成調査

GD-OES（グロー放電発光分析）によりステンレス(SUS)の表面をス…

グロー放電発光分析法(Glow Discharge OpticalEmission Spectrometry:GD-OES)は、スパッタリングにより試料表面から原子を弾き出し原子をプラズマ状態に励起し、生じた発光を測定することで試料の組成を分析する方法です。H(水素)が検出できるのも本装置の特長です。この事例では「変色したス...

メーカー・取り扱い企業：セイコーフューチャークリエーション株式会社
半導体関連装置向け解析シミュレーションソフト

ガス流れや薄膜生成のシミュレーションに。大規模形状でも短時間計算

article-PLUS』》 ■低圧のプラズマシミュレーションが可能 ■プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などにこの2つのシステムで、半導体製造における薄膜生成、スパッタリング、プラズマエッチングなどの様々なシミュレーションに対応可能です。 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例紹介】Li-S電池用のグラフェン材料調査

『Materials Studio』はバッテリー特性計算ができます【事…

レーションツール ■メソスケール・シミュレーションツール ■統計ツール ■分析/結晶化ツール【事例】・結晶成長・結晶表面の原子の挙動・結晶解析・物性値の計算・スパッタリングシミュレーション・潤滑剤の性能向上・触媒・トライボケミカル(潤滑)反応　　　など【製品特長】 ■さまざまなタイプの材料に対応 ■一つのGUI画面上で、結晶構造の作成...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例紹介】グラファイトアノード上Liイオン拡散エネルギー

『Materials Studio』はバッテリー特性計算ができます【事…

レーションツール ■メソスケール・シミュレーションツール ■統計ツール ■分析/結晶化ツール【事例】・結晶成長・結晶表面の原子の挙動・結晶解析・物性値の計算・スパッタリングシミュレーション・潤滑剤の性能向上・触媒・トライボケミカル(潤滑)反応　　　など【製品特長】 ■さまざまなタイプの材料に対応 ■一つのGUI画面上で、結晶構造の作成...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【分析事例】ステンレス不動態皮膜の深さ方向状態評価

波形解析・Arスパッタによる結合状態の深さ方向分布評価

XPSでは酸化成分（酸素と結合している成分）・金属成分（金属と結合している成分）などの結合状態の評価が可能です。また、アルゴンイオンスパッタリングを併用することにより、深さ方向の結合状態の評価も可能です。 ※ ステンレス表面の不動態皮膜（厚さ数十nm～数百nm程度）について、上記測定を行った結果、（1）表面側にFe酸化成分が多い、（2...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST